德国Bruker/布鲁克 Dektak XTL探针式轮廓仪 Dektak XTL™ 探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品，为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。Dektak XTL 具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计，具有易用的联锁门，是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力，其高自动化水平可更大限度地提高测试通量。

德国Bruker/布鲁克 触针式轮廓仪Dektak Pro Dektak Pro 提供高分辨率、低噪声地板和任何商业上可用的触针轮廓仪中具准确性和精确性的数据。*的测量和分析技术大限度地提高了可重复性和准确性，使单纳米步高测量和优于 4 Å 的可重复性成为可能。

美国KLA科磊Tencor® P-17探针式轮廓仪P-17探针式轮廓仪为生产和研发(R&D)环节提供从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达200毫米，无需拼接。

美国KLA科磊Tencor® P-7 探针式轮廓仪Tencor P-7探针式轮廓仪为生产和研发(R&D)环节提供了从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达150毫米，无需拼接。

美国KLA科磊HRP®-260探针式轮廓仪 HRP®-260 是一个高分辨率、自动化探针式轮廓仪，提供从几纳米到 300 微米的台阶高度测量功能。P-260支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量，扫描范围可达 200 毫米且无需拼接。HRP®-260 配置了与 P-260 相同的功能，但增加了高分辨率样品台以获得类似 AFM 的扫描结果。HRP 系列高分辨率轮廓仪具有*的图形识别算法

美国KLA科磊Tencor® P-170 探针式轮廓仪Tencor P-170是一款自动化轮廓仪，可为生产环节提供从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，扫描范围可达200毫米而无需拼接。Tencor P-170具有*的图形识别算法、增强的光学系统和*的样品台，可实现稳定的性能和系统之间程式传输的无缝衔接 - 这是实现全天候生产的关键。