美国KLA科磊HRP®-260探针式轮廓仪
HRP®-260 是一个高分辨率、自动化探针式轮廓仪，提供从几纳米到 300 微米的台阶高度测量功能。P-260支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量，扫描范围可达 200 毫米且无需拼接。HRP®-260 配置了与 P-260 相同的功能，但增加了高分辨率样品台以获得类似 AFM 的扫描结果。HRP 系列高分辨率轮廓仪具有*的图形识别算法

美国KLA科磊HRP®-260探针式轮廓仪

美国KLA科磊HRP®-260探针式轮廓仪

HRP®-260是美国KLA科磊公司推出的一款高分辨率、自动化探针式轮廓仪，专为半导体、化合物半导体、高亮度LED、数据存储及相关行业设计，提供从几纳米到300微米的台阶高度测量功能。

‌核心功能‌：

• ‌多维度测量‌：支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D及3D测量，扫描范围可达200毫米且无需拼接，满足大尺寸样品的全直径扫描需求。

• ‌高分辨率平台‌：配备高分辨率压电扫描样品台，扫描行程长达90微米，分辨率高达1纳米，可获得类似AFM的扫描结果，精准表征小型特征图案。

• ‌恒力控制技术‌：探针作用力可动态调节至0.03至50毫克，确保测量稳定性，尤其适用于光刻胶等软性材料的精确测量。

• ‌智能光学系统‌：集成嵌入式低倍和高倍放大光学系统，支持在线影像观察，结合圆弧校正功能，消除探针弧形运动引起的误差。

• ‌自动化生产能力‌：通过自动晶圆处理、图形识别、多点量测和特征检测实现全自动测量，支持SECS/GEM通信协议，可无缝集成至工厂自动化系统。

‌技术优势‌：

• ‌双样品台设计‌：提供纳米和微米表面形貌的双平台测量能力，兼顾长程扫描与高分辨率需求。

• ‌*算法支持‌：配备Apex分析软件，支持ISO粗糙度计算方法及多种语言，提供调平、滤波、数据分析及报告编写功能。

• ‌兼容性强‌：可自动加载直径75毫米至200毫米的不透明（如硅）和透明（如蓝宝石）样品，适应多种材料测量需求。

‌应用领域‌：
HRP®-260广泛应用于半导体制造、化合物半导体、LED、MEMS、数据存储及汽车电子等行业，为工艺研发和生产环节提供关键数据支持，助力提升产品质量和生产效率。