德国Bruker/布鲁克 Dektak XTL探针式轮廓仪
Dektak XTL™ 探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品，为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。Dektak XTL 具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计，具有易用的联锁门，是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力，其高自动化水平可更大限度地提高测试通量。

德国Bruker/布鲁克 Dektak XTL探针式轮廓仪

德国Bruker/布鲁克 Dektak XTL探针式轮廓仪

‌一、大尺寸样品兼容性‌

Dektak XTL可容纳最大350mm×350mm的样品，支持300mm晶圆及大型面板（如太阳能电池板、触摸屏）的测量，满足半导体、显示面板等行业对大尺寸制造的严苛需求。

‌二、高精度与重复性‌

• ‌台阶高度重复性‌：优于5埃（5Å，1σ在1μm台阶上），垂直方向分辨率最大达1Å（6.55μm垂直范围下），确保数据可靠性。

• ‌探针配置‌：探针尖半径范围50nm至25μm，作用力0.3-15mg，适应不同材料（如柔软薄膜或硬质基底）的测量需求。

‌三、抗干扰设计与稳定性‌

• ‌单拱形架构‌：集成振动隔离系统，有效降低环境振动和噪声干扰，提升扫描稳定性。

• ‌全封闭工作站‌：配备气体隔振装置和联锁门，适应高洁净度生产环境，保障长期运行稳定性。

‌四、智能化操作与自动化‌

• ‌双摄像头系统‌：提供实时视频定位与空间感知，支持点击定位、两点自动旋转对齐等功能，简化样品装载与测量设置。

• ‌高精度编码XY样品台‌：300mm自动化平台支持360度旋转，编程控制无限制测量位置，提升测试通量。

• ‌软件功能‌：Vision64软件支持64位并行处理，提供3D成像、数百种内置分析工具及图形识别功能，减少操作员误差，实现数据采集与分析的直观流程。

‌五、应用领域‌

• ‌半导体制造‌：测量晶圆表面台阶高度、粗糙度、蚀刻深度及化学机械抛光（CMP）均匀性。

• ‌显示与光伏‌：分析LED芯片透镜曲率、触摸屏薄膜厚度、太阳能电池涂层均匀性。

• ‌材料科学‌：研究纳米材料、涂层、聚合物的表面形貌与摩擦性能。