美国KLA科磊Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪 Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600 还支持2D和3D的粗糙度测量，以及用于研发和生产环节的2D翘曲度和应力测量。D-600 包含一个带有200 毫米样品载台的电动样品台和具有增强影像控制的高级光学器件。

美国KLA科磊Alpha-Step®D-500 探针式轮廓仪 Alpha-Step D-500探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。D-500也支持在研发和生产环节中对粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。D-500探针式轮廓仪搭载了140毫米手动载台和具有增强影像控制的高级光学系统。

日本KOSAKA小坂多关节三维测量机VSC系列 VMC系列的单元可以沿上下方向移动，适用于大型工件的测量

日本KOSAKA小坂多关节三维测量机VMC系列 多关节型三维测量机（Vectoron）可以在复杂的三维自由曲面上平滑移动，任何人都可以轻松准确地进行测量。

日本KOSAKA小坂多关节三维测量机BeakMaster 任何人都可以轻松进行三维测量，适合小型工作。 探针的最大移动范围 （VBK100S的情况）直径1200毫米 精度（公司规格）测定精度：2σ ±0.015mm

日本KOSAKA小坂微细穴三次元测定机FP3030 FP3030的核心优势在于其突破传统测量的技术瓶颈。面对极小宽深比的深孔，传统接触式测量因测针直径过粗或针尖角度过大，难以深入测量侧壁粗糙度；非接触式光学测量则受限于光的干涉、对焦困难及数据点不足。