美国KLA科磊Tencor® P-7 探针式轮廓仪Tencor P-7探针式轮廓仪为生产和研发(R&D)环节提供了从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达150毫米，无需拼接。

美国KLA科磊Tencor® P-7 探针式轮廓仪

美国KLA科磊Tencor® P-7 探针式轮廓仪

Tencor® P-7探针式轮廓仪是美国KLA科磊公司推出的一款高精度、多功能的表面形貌测量设备，专为半导体、化合物半导体、LED、太阳能、MEMS、数据存储及汽车电子等行业设计。该设备基于市场的Tencor P-17台式探针轮廓分析系统，继承了其测量性能，同时提供了更高的性价比。

‌核心功能‌：

• ‌多维度测量‌：Tencor® P-7支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维（2D）和三维（3D）测量，扫描范围可达150毫米，无需图像拼接，满足大尺寸样品的测量需求。

• ‌恒力控制技术‌：探针作用力可在0.03至50毫克范围内动态调节，确保测量稳定性，尤其适用于光刻胶等软性材料的精确测量。

• ‌高分辨率成像‌：配备500万像素高分辨率彩色相机，提供清晰的在线影像观察，支持顶视和侧视光学系统，便于样品对准和缺陷定位。

• ‌智能软件分析‌：Apex分析软件支持ISO粗糙度计算方法，提供调平、滤镜、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析等扩展功能，并支持多语言界面，便于用户操作和数据报告编写。

‌技术优势‌：

• ‌高重复性测量‌：UltraLite®传感器具有动态力控制、良好线性度和精准垂直分辨率，确保测量结果的稳定性和准确性。

• ‌自动化生产能力‌：通过测序、图形识别和SECS/GEM功能实现全自动测量，减少操作员误操作，提高测量效率。

• ‌广泛适用性‌：支持多种探针和载台选项，适应不同样品尺寸和测量需求，包括太阳能板样品和200毫米通用载台。

‌应用领域‌：
Tencor® P-7广泛应用于半导体制造、化合物半导体、LED、太阳能、MEMS、数据存储及汽车电子等行业，为工艺研发和生产环节提供关键数据支持，助力提升产品质量和生产效率。