德国Bruker/布鲁克 Dektak XTL探针式轮廓仪 Dektak XTL™ 探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品，为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。Dektak XTL 具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计，具有易用的联锁门，是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力，其高自动化水平可更大限度地提高测试通量。

德国Bruker/布鲁克 触针式轮廓仪Dektak Pro Dektak Pro 提供高分辨率、低噪声地板和任何商业上可用的触针轮廓仪中具准确性和精确性的数据。*的测量和分析技术大限度地提高了可重复性和准确性，使单纳米步高测量和优于 4 Å 的可重复性成为可能。