日本OTSUKA大塚 嵌入式膜厚监测器

日本OTSUKA大塚智能膜厚仪 SM-100系列 「便携式手提类型」1.1公斤，轻便易携带 「高精度测量＆简单测量」最薄0.1 μm直到可以测量而无需刻度线 「多层膜也支持」可测量三层及以下的多层膜 「非破坏・非接触测量」不会伤害样品也能进行测量 「 다양한サンプルを測定」基材（玻璃・塑料）を選ばず測定可能

日本OTSUKA大塚显微分光膜厚计FE-300F系列 这是一款通过高精度的光干涉法进行膜厚测量的小型且价格低廉的膜厚计，实现了简单操作。 我们采用了将所需设备集成在主机内的多功能型结构，从而实现了稳定的数据获取。 尽管价格低廉，但通过获取绝对反射率，也能够进行光学常数的解析。

日本OTSUKA大塚显微分光膜厚计OPTM系列 OPTM(オプティム)是利用显微分光进行微小区域绝对反射率测量的装置，能够实现高精度的膜厚和光学常数解析。 可以非破坏性、非接触性地测量各种薄膜、晶圆、光学材料等的涂层膜厚度或多层膜。测量时间可以达到每点1秒的高速测量。此外，还配备了即使初次使用也能轻松进行光学常数解析的软件。