日本OTSUKA大塚显微分光膜厚计OPTM系列 OPTM(オプティム)是利用显微分光进行微小区域绝对反射率测量的装置，能够实现高精度的膜厚和光学常数解析。 可以非破坏性、非接触性地测量各种薄膜、晶圆、光学材料等的涂层膜厚度或多层膜。测量时间可以达到每点1秒的高速测量。此外，还配备了即使初次使用也能轻松进行光学常数解析的软件。