日本OTSUKA大塚西南代理膜厚测定用MCPD9800是依托其标志性“瞬间多通道测光"技术打造的高性能光谱干涉式膜厚检测系统，专为半导体、显示面板、功能薄膜等行业的高精度膜厚质控场景设计，是兼顾实验室研发与工业在线监测的通用型膜厚检测产品。

日本OTSUKA大塚西南代理膜厚测定用MCPD9800

日本OTSUKA大塚西南代理膜厚测定用MCPD9800

日本OTSUKA大塚电子膜厚测定专用MCPD系列，是依托其标志性“瞬间多通道测光"技术打造的高性能光谱干涉式膜厚检测系统，专为半导体、显示面板、功能薄膜等行业的高精度膜厚质控场景设计，是兼顾实验室研发与工业在线监测的通用型膜厚检测产品。

该系列以多通道并行检测架构为核心，摒弃传统光谱仪逐点扫描的低效模式，一次曝光即可捕获全波段完整光谱，最快5毫秒即可完成单次测量，动态范围可达1,000,000:1以上，杂散光水平仅为传统机型的五分之一，能精准捕捉薄膜上下表面反射形成的微弱干涉信号，避免杂散光干扰带来的膜厚解析误差。全系列支持65nm~92μm的SiO₂当量膜厚测量范围，可覆盖从纳米级超薄氧化膜到微米级厚涂层的绝大多数工业检测需求，部分机型还支持多层膜同步解析，适配复杂复合涂层的检测场景。

产品采用模块化柔性设计，标配2米长的石英投受光Y型光纤，仅需将小巧的检测探头对准待测样品，主机即可放置在远离检测工位的稳定区域，轻松适配真空腔室、CMP研磨工位、成膜产线机台等复杂安装环境，无需对产线结构进行大规模改造。全系列搭载USB+LAN双通信接口，支持远程控制与数据实时上传，可直接对接产线PLC系统，实现膜厚数据的实时反馈与工艺闭环调整，在高速运行的薄膜生产线上也能完成全幅面TD方向的膜厚实时监控。

系列内可根据需求灵活选配机型：旗舰款MCPD-9800适配半导体晶圆超薄膜高精度检测，标准款MCPD-6800以高性价比覆盖常规实验室与通用产线质控场景，还可搭配不同波长的检测器主体，实现从深紫外220nm到近红外1600nm的全波段覆盖，适配ITO导电膜、光刻胶、AR增透膜、锂电池功能涂层等不同材质薄膜的专属检测需求。