产品分类
日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵LR60低温分布的均匀性。在PVD工艺中，抽空LL腔的优化泵，缩短排气时间以提高吞吐量很重要。 功能
日本ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵LS120A型号:MS“ 是一种螺杆式干式真空泵。 耐腐蚀性和粉末排气性能得到了基于传统“LS 型号“的工艺阻力模型的提升。 该型号专为使用腐蚀气体和粉末排气的工艺设计。
日本ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵MS120A型号:MS“ 是一种螺杆式干式真空泵。 耐腐蚀性和粉末排气性能得到了基于传统“LS 型号“的工艺阻力模型的提升。 该型号专为使用腐蚀气体和粉末排气的工艺设计。
当前位置：
