产品分类
日本ULVAC爱发科 真空钟摆阀 VFR-400 ULVAC的VFR系列大型摆锤阀（闸阀）采用独特技术设计紧凑。应用包括OLED、光伏、玻璃、平板显示和其他制造系统。
日本ULVAC爱发科真空角阀 VLB-SA016KF ULVAC的真空阀门是基于在真空领域丰富的技术和经验开发的。 我们提供各种产品，以满足从大气压到超高真空的广泛需求。
日本ULVAC爱发科真空角阀 VLP-SA020JH ULVAC的真空阀门是基于在真空领域丰富的技术和经验开发的。 我们提供各种产品，以满足从大气压到超高真空的广泛需求。
日本ULVAC爱发科泄漏检测器HELIOT901W1是我们的氦气泄漏检测仪，具有高速抽气能力、用户友好型操作，并在各种泄漏检测情况下保证性能。
日本ULVAC爱发科CVD蚀刻Qulee RGM2-201FQulee RGM2-201 F 反应气体监测器是一款带有差动排气系统的工艺监测器，支持蚀刻、CVD 和 ALD 设备的反应气体。具有独特的离子源和 Alvac 独特的排气系统结构，它对反应气体具有优异的耐腐蚀性，并且可以长时间稳定测量。
日本ULVAC爱发科气体分析仪Qulee HGM2-202ULVAC 的新型“型号：Qulee HGM2”残余气体分析仪，具有很高的易用性。 所有型号中具有最高的灵敏度，2.5 × 10-6A/Pa，Qulee HGM2。 可以满足各种研发和其他真空系统过程监测的需求。
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