产品分类
日本ULVAC爱发科摆动活干式真空泵DOP-40D往复式活塞式干式真空泵是一种通过连接到偏心旋转轴的活塞往复运动来输送气体的机械真空泵。
日本ULVAC爱发科滚动式干真空泵DIS-252这是一个通过螺旋墙（旋转 scroll）的偏心运动来抽气的真空泵，它面对着固定螺旋墙（固定 scroll）。
日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60低温分布的均匀性。在PVD工艺中，抽空LL腔的优化泵，缩短排气时间以提高吞吐量很重要功能。
日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵LR60低温分布的均匀性。在PVD工艺中，抽空LL腔的优化泵，缩短排气时间以提高吞吐量很重要。 功能
日本ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵LS120A型号:MS“ 是一种螺杆式干式真空泵。 耐腐蚀性和粉末排气性能得到了基于传统“LS 型号“的工艺阻力模型的提升。 该型号专为使用腐蚀气体和粉末排气的工艺设计。
日本ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵MS120A型号:MS“ 是一种螺杆式干式真空泵。 耐腐蚀性和粉末排气性能得到了基于传统“LS 型号“的工艺阻力模型的提升。 该型号专为使用腐蚀气体和粉末排气的工艺设计。
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