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日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60
产品简介:

日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60低温分布的均匀性。在PVD工艺中,抽空LL腔的优化泵,缩短排气时间以提高吞吐量很重要功能。

产品型号:

更新时间:2026-04-03

厂商性质:代理商

访 问 量 :10

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产品介绍
品牌ULVAC/日本爱发科输送介质其他
泵轴位置卧式叶轮数目其他
应用领域综合

日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60

日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60


日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60

功能

  • 特别适用于高负荷应用,例如在大气压和真空中反复抽气以及在高压范围内连续运行。

  • 适用于需要高吞吐量的装货/卸货锁斗。

  • 使用通用感应电动机。防爆电动机可选。

  • 应用多电压电机

应用程序

  • 清洁气体真空泵如空气、惰性气体。

  • 装卸各种沉积设备的锁止腔。

  • 通用工业应用,如真空干燥机、真空热绝缘中的真空气体交换和充气、真空脱气等。

规格

模型GR60AGR90AGR180A
最大泵送
速度
50赫兹3/小时(升/分钟)62(1030)112(1860)183(3100)
60赫兹3/小时(升/分钟)80(1333)126(2100)237(3850)
压力 *15.0
最大入口压力大气压力
最大排气压力1.0 大气压
入口端口VG50VG80
出口端口NW40
表面处理
发动机输出 [千瓦]2.23.77.5
电压 [V]50赫兹200 - 240/380 - 415
60赫兹200 - 240/380 - 460
重量千克128188268
冷却水供应
压力
兆帕0.1 - 0.3
输入/输出差异
压力
兆帕>0.1
温度10 - 30 *2
流量升/分钟>5.0
氮2一次侧
供应
压力
兆帕0.1 - 0.5
次级侧
调节
压力 *3
兆帕0.05 到 0.1(运行时)
选择性激光熔化5.0 * 4

*1 最终压力是在氮气(轴封气)流量为5.0SLM时的值。
*2 非冷凝。
*3 压力表上的值通过气体调节器调整。
*4 氮气(轴封气)的流量固定为5.0SLM。




配件

模型材料表面
处理
重量 (千克)法兰
连接
GR60AGR90AGR180A
消音器RS-01+
套件A
SUS304GBB
治疗
4.1KF40输入:-
RS-01+
套件 C
SUS304GBB
治疗
8.3KF40输入:-输入:-




泵速曲线

日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60




尺寸图

  • GR60日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60

  • GR90A日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60

  • GR180日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵GR60



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