产品型号：
更新时间：2026-04-02
厂商性质：代理商
访 问 量 ：5
028-68749778
产品分类
| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵轴位置 | 卧式 | 叶轮数目 | 其他 |
| 应用领域 | 综合 |
日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵LR60
日本ULVAC爱发科多级罗茨式干式真空泵LR60
'低温泵（型号:LR）
'该“型号:LR"泵旨在缩短用于负载锁、PVD过程等的抽气时间。
氦气抽气能力
canned motor 保证安全和维护方便
断电保护
泵在断电持续时间长达500毫秒的情况下能够承受。
耐腐蚀气体性能（型号：HR/UR）
内部组件经过特殊处理，提供高度的表面硬度和耐腐蚀性。这防止了在暴露于腐蚀性气体时内部泵部件的磨损和腐蚀。
通信功能
泵数据包括警告和警报能够导出。广泛的泵控制功能可用。
溅射设备、蒸镀设备等。
缩短负载锁室的抽气时间
涡轮分子泵和机械增压泵的备用泵
| 模型 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
泵 速度 | 50赫兹 | 62 米3/小时 (1030 升/分钟) | 112 米3/小时 (1860 升/分钟) | 183 米3/小时 (3100 升/分钟) | 440 米3/小时 (7333 升/分钟) | 440 米3/小时 (7333 升/分钟) |
| 60赫兹 | 80 米3/小时 (1333 升/分钟) | 126 米3/小时 (2100 升/分钟) | 237 米3/小时 (3950 升/分钟) | |||
| 压力 | 5.0 帕 | |||||
| 入口压力 | 大气压力 | |||||
| 排气压力 | 1.0 大气压 毫巴 | |||||
| 入口直径（CE 型） | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
| 出口直径 | KF40 | VG50 | ||||
| 重量 | 180 公斤 | 245 公斤 | 335 公斤 | 415 公斤 | ||
| 力量 *1 | 三 相 | 200 伏交流电（50/60 赫兹），220 伏交流电（60 赫兹） | 180 - 240 VAC/380 - 440 VAC(50/60 Hz) | |||
| 当前 | 在极限 压力 | 6.9 安 (在 200V) | 11.2 安培 (在200伏) | 18.9 安培 (在200伏) | 20.8 安培 (在200伏) | |
负载 | 7.3 A （在200V） | 11.8 安培 (在200伏) | 20.6 安培 (在200伏) | 48.5 安培 (在200伏) | ||
| 冷却水 供应压力 | 0.1 - 0.3 兆帕 | 0.2 - 0.5 兆帕 | ||||
| 冷却水入口/出口 压力差 | >0.1 MPa | >0.2 MPa | ||||
| 冷却水 流量 | >5.0 升/分钟 | >4.0 升/分钟 | ||||
| 氮气 | 供应 压力 | 0.1 - 0.5 兆帕 | ||||
| 规则- 调节 压力 | 0.05 - 0.1 兆帕 | |||||
| N2 排气 | 轴封净化 | 5 SLM | ||||
| 气体压载 | 0 - 45 SLM | 无 | 0 - 45 SLM | |||
*1: 请在订购时指明电压。
| 模型 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T (TT) | LR3601-R | LR3601- TR (TTR) | |
| 泵 | 药物治疗计划 | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T |
| MBP | PRC-03A | PRC-06A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C (-T) | PRC-036D | PRC-036D (D-T) | |
泵送 速度 | 50赫兹 | 359 米3/小时 (5,980 升/分钟) | 653 米3/小时 (10,900 升/分钟) | 1,012 米3/小时 (16,900 升/分钟) | 1,701 米3/小时 (28,350 升/分钟) | 3,200 米3/小时 (53,333 升/分钟) | |||
| 60赫兹 | 365米3/小时 (6,080 升/分钟) | 701米3/小时 (11,700 升/分钟) | 1,051米3/小时 (17,500 升/分钟) | 1,784米3/小时 (29,700 升/分钟) | |||||
压力 | 0.67 帕 | ||||||||
| 入口压力 | 大气压力 | ||||||||
| 排气 压力 | 1.0 大气压 毫巴 | ||||||||
| 入口直径 (类型 CE) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | |||||
| 出口直径 | KF40 | KF50 | |||||||
| 表面处理 的MBP | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | × | 电话:× 传真:× | × | 总阅读量:× 今日阅读量:〇 | |
| 重量 | 275 公斤 | 370 公斤 | 420 公斤 | 545 公斤 | 660 公斤 | 720千克 | 660 公斤 | 720千克 | |
| 力量 *2 | 三 相 | 200 伏交流电（50/60 赫兹），220 伏交流电（60 赫兹） | 180 - 240/380 - 440（50/60） | ||||||
| 当前 | 在 最终 压力 | 7.0 安培 (在200伏) | 12.3 安培 （在200伏） | 13.7 安培 (在200伏) | 21.4 安培 (在200伏) | 31.0 A（在200V时） 20.5 A（在400V时） | 35.4 安(在200V) 20.5 安(在400V) | ||
| 在 负载 | 9.6 安培 (在200伏) | 19.0 A (在200V) | 24.2 安培 (在200伏) | 39.8 安 (在 200V) | 58.4 安(在200V) 40.5 安(在400V) | 82.0 安(在200V) 40.5 安(在400V) | |||
| 冷却水 供应压力 | 0.1 - 0.3 兆帕 | 0.2 - 0.5 兆帕 | |||||||
| 冷却水入口/出口 压力差 | >0.1 MPa | 0.1 - 0.3 兆帕 | 0.2 - 0.5 兆帕 | ||||||
| 冷却水 流量 | >5.0 升/分钟 | >4.0 升/分钟 | |||||||
| 氮气 | 供应 压力 | 0.1 - 0.5 兆帕 | |||||||
| 规则- 调节 压力 | 0.05 - 0.1 兆帕 | ||||||||
| N2 清除 | 轴 排气 | 5 SLM | |||||||
| 气体 球ast | 0 - 45 SLM | 无 *3 | 0 - 45 SLM | 无 *3 | 0 - 45 SLM | ||||
*1 MBP of LR300, LR600, LR1200, LR1800，可以选择表面处理的存在。
*2 订购时请指定电压。
*3 此外，带有气动泵的装置可以报价。请联系我们进行
选择和报价。
■消音器（可选）
| 模型 | 材料 | 表面 处理 | 重量 (千克) | 法兰 连接 | 离心率 300 | 离心率 600 | 离心率 1200 | 右转 1800 | 与 3601 | 离散余弦变换 60 | 离心率 90 | 离合 180 | 左室射血分数 421 | LR 421- 天 |
| RS-01 + 套件A | 苏斯 304 | GBB 治疗 | 4.1 千克 | KF40 | 〇 | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 〇 | 〇 | 输入：- | 输入：- | 输入：- |
| RS-01 + 工具包B | KF40 | 输入：- | 〇 | 〇 | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | |||
| RS-02 + 套件A | 8.3 千克 | KF40 | 〇 | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 〇 | 输入：- | 输入：- | ||
| RS-02 + 工具包B | KF40 | 输入：- | 〇 | 〇 | 〇 | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | |||
| RS-03 + 套件A | 抛光 板 | 12.5 千克 | KF50 | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 〇 | 〇 | |
| RS-03 + 工具包B | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 〇 | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- | 输入：- |
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