日本OTSUKA大塚西南代理分光膜厚计OPTM(オプティム)是利用显微分光进行微小区域绝对反射率测量的装置，能够实现高精度的膜厚和光学常数解析。
可以非破坏性、非接触性地测量各种薄膜、晶圆、光学材料等的涂层膜厚度或多层膜。测量时间可以达到每点1秒的高速测量。此外，还配备了即使初次使用也能轻松进行光学常数解析的软件。

日本大塚电子（OTSUKA ELECTRONICS）OPTM系列显微分光膜厚计，是一款可‌替代椭偏仪‌的高性价比无损膜厚检测利器，基于‌显微光谱干涉+绝对反射率分析法‌，实现非接触、非破坏式测量，广泛服务于半导体、FPD显示、光学镀膜等制造领域。

‌核心技术与性能‌：宽光谱光源经反射式显微物镜照射样品，采集薄膜表面与膜/基底界面的光干涉反射光谱，通过FFT/非线性拟合算法解析干涉波形，换算膜厚与光学常数（折射率n、消光系数k）。单点对焦加量测‌≤1秒完成‌，SiO₂重复精度‌<0.2nm‌，最高可同时解析‌50层多层复合薄膜‌，最小光斑仅‌φ3μm‌，可对晶圆微小焊盘、钝化膜等微区精准定位测量。反射式物镜，物理消除透明基板（玻璃/石英）背面反射干扰，即使基板内部反射严重也能获取真实膜厚值。

‌三大机型×三档波长，灵活选配‌：

其中‌OPTM-A‌为自动XY平台型（200×200mm，支持12寸晶圆Mapping扫描，重约66kg）；‌OPTM-F‌为固定台架型（研发检测，38kg）；‌OPTM-H‌为分体探头型（仅4kg，可自由嵌入产线inline在线检测）。软件内置初学者解析向导与宏编程功能，无需专业光学知识即可快速上手。

‌应用领域‌：半导体（Si/SiC/GaAs晶圆绝缘膜、光刻胶）、FPD（LCD彩色滤光片、OLED有机膜/封装胶）、光学镀膜（AR增透膜、DLC类金刚石膜）、功能高分子（HC硬涂层、防指纹膜、偏光膜）等。