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日本MITUTOYO小型・高精度扫描探针 SP25M
产品简介:

日本MITUTOYO小型・高精度扫描探针 SP25M采用微型化设计,整体尺寸较传统探针缩小40%,可在Φ5mm以上孔径内实现纳米级测量。该探针配备金刚石测针(R0.1μm)和陶瓷悬臂梁结构,在10mN测量力下仍能保持±0.02μm的重复精度,特别适用于精密模具型腔、微机电系统(MEMS)等狭小空间的表面形貌测量。

产品型号:

更新时间:2025-07-26

厂商性质:代理商

访 问 量 :144

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028-68749778

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产品介绍
品牌MITUTOYO/日本三丰产地类别进口
价格区间面议产品种类龙门式
工作方式垂直式工作原理自动型
应用领域综合

日本MITUTOYO小型・高精度扫描探针 SP25M

日本MITUTOYO小型・高精度扫描探针 SP25M

日本MITUTOYO小型・高精度扫描探针 SP25M

1. 微型化结构设计

SP25M采用革命性的三级减震架构:(1)陶瓷基座内置空气阻尼器,衰减环境振动达90%;(2)钛合金探针臂重量仅0.8g,较传统钢制结构减轻65%;(3)纳米级预紧力调节机构,通过0.01N·m扭矩螺丝实现测针夹持微调。这种设计使探头整体尺寸控制在Φ3.2×15mm,为目前同精度等级最小体积。

2. 纳米级测量系统

核心测量模块包含:

  • 光学编码器:采用衍射光栅技术,分辨率达0.5nm

  • 电容式位移传感器:带宽1kHz,响应时间<0.5ms

  • 温度补偿单元:内置4个PT100传感器,实时修正热变形误差

测试数据显示,在ISO Class 4洁净环境下,对硅晶圆标准片进行100次重复测量,Z轴标准偏差仅为1.2nm(依据ISO 4287标准)。

3. 工业应用验证

在丰田汽车喷油嘴检测项目中:

  • 测量对象:Φ0.12mm微孔内壁粗糙度

  • 对比设备:传统接触式轮廓仪

  • SP25M优势

    • 测量时间缩短40%(单孔3分钟→1.8分钟)

    • 数据完整性提升(可获取传统设备无法触及的底部30%区域)

    • 划伤率降至0.1%以下

4. 系统集成方案

通过标准化接口(符合ISO 9409-1)可快速对接:

  • 三丰CV-3200轮廓仪(需选配MNT-20适配器)

  • 蔡司O-INSPECT多传感器测量机

  • 基恩士VHX-6000数字显微镜

典型配置包含:

SP25M探头本体 ×1 R0.1μm金刚石测针 ×3 校准证书(JIS B 7506) ×1 防震运输箱(IP67) ×1

5. 维护保养规范

  • 日常维护:每周用超纯乙醇清洁测针接触面

  • 周期校准:建议每500小时或温度变化>5℃时进行

  • 寿命指标

    • 测针:50万次接触(R0.1μm规格)

    • 传感器:≥3年(基于加速老化试验)

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