日本KOSAKA小坂微细穴三次元测定机FP3030
FP3030的核心优势在于其突破传统测量的技术瓶颈。面对极小宽深比的深孔，传统接触式测量因测针直径过粗或针尖角度过大，难以深入测量侧壁粗糙度；非接触式光学测量则受限于光的干涉、对焦困难及数据点不足。

日本KOSAKA小坂微细穴三次元测定机FP3030

日本KOSAKA小坂微细穴三次元测定机FP3030是日本KOSAKA小坂研究所针对微细深孔测量难题研发的高精度接触式测量仪，融合了产学研合作成果，为半导体、汽车、精密机械等行业提供了可靠的解决方案。该设备采用高弹性光纤维测针，结合激光、三棱镜与光电二极管构成的传感测量装置，能够以微小的测定力（10μN~500μN）测量直径最小10μm、最大300μm的深孔内部形状，垂直分辨率达10nm，重复精度在20nm以下（以孔径80μm为例），满足微米/纳米级精度需求。

FP3030的核心优势在于其突破传统测量的技术瓶颈。面对极小宽深比的深孔，传统接触式测量因测针直径过粗或针尖角度过大，难以深入测量侧壁粗糙度；非接触式光学测量则受限于光的干涉、对焦困难及数据点不足。FP3030通过质轻纤细的光纤维测针，以圆周型轨迹接触深孔侧壁采集数据，光电二极管受光量随测针位置变化，从而精准测量内径、外径、深度、侧壁形状等参数。其测量软件支持真圆度、圆柱度、直径、台阶、槽宽、直角度、粗糙度等多种参数解析，功能全面。

FP3030已广泛应用于多个领域：半导体封装TSV（硅通孔技术）的侧壁粗糙度测量（孔径10μm，深度100-500μm）、汽车燃料喷嘴口形状测量（孔径10-100μm）、打印机油墨喷嘴口内部形状测量（孔径数十微米）、纺织机械线嘴内部形状测量（孔径10-100μm）等。其高精度、高重复性及非破坏性测量特点，使其成为质量控制与研发分析的理想工具，既能满足车间环境中的快速几何测量需求，也可胜任实验室对高精度测量的严苛要求。