美国KLA科磊Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪
Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600 还支持2D和3D的粗糙度测量，以及用于研发和生产环节的2D翘曲度和应力测量。D-600 包含一个带有200 毫米样品载台的电动样品台和具有增强影像控制的高级光学器件。

美国KLA科磊Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪

美国KLA科磊Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪

美国KLA科磊的Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪是一款高精度、多功能的表面形貌测量设备，专为科研与工业应用设计。以下是对该产品的详细简介：

产品概述

Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪采用创新的光学杠杆传感器技术，结合接触式探针测量，实现了从纳米级到1200微米（1.2毫米）的2D和3D台阶高度测量。该设备不仅支持台阶高度的精确测量，还能进行粗糙度、波纹度、翘曲度和应力的量化分析，为材料表面形貌研究提供了全面的解决方案。

技术特点

1. ‌高分辨率与大垂直范围‌：光学杠杆传感器技术提供了亚埃级的分辨率和1200微米的垂直测量范围，确保了测量的高精度和广泛适用性。

2. ‌低触力测量‌：探针作用力可调节范围从0.03毫克至15毫克，适用于软材料（如光刻胶）和硬材料的测量，避免了对样品的损伤。

3. ‌多种探针选择‌：提供多种探针针尖半径（从100纳米到50微米不等）和角度（20度至100度），以适应不同结构和材料的测量需求。

4. ‌优良的图像控制与校正‌：配备500万像素高分辨率彩色相机，支持梯形失真校正和圆弧校正，消除了侧视视图和探针弧形运动引起的误差。

5. ‌用户友好的软件界面‌：Apex分析软件具备调平、滤波、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术，支持ISO粗糙度计算方法和多种语言，便于数据分析和报告编写。

应用领域

Alpha-Step® D-600探针式轮廓仪广泛应用于半导体、化合物半导体、LED、太阳能、MEMS、汽车和医疗设备等行业。它能够量化蚀刻、溅射、沉积、旋涂、化学机械研磨等工艺中沉积或去除的材料厚度，测量样品表面的粗糙度和波纹度，以及评估翘曲度和应力变化，为工艺优化和质量控制提供了重要数据支持。