日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG70F是日本OSAKA大阪真空株式会社推出的一款高效、轻巧且耐用的滚珠轴承型涡轮分子泵，专为高真空环境设计。

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG70F

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG70F

TG70F是日本OSAKA大阪真空株式会社推出的一款高效、轻巧且耐用的滚珠轴承型涡轮分子泵，专为高真空环境设计。该泵采用油脂润滑滚珠轴承系统，结构紧凑，重量轻（ISO-R法兰型仅3kg，CF法兰型5kg），便于安装和移动。其核心优势在于的抗冲击性能，可承受超过400次大气冲击，适用于安装在移动设备或运动部件上，如排气车、腔室门等，即使在泵运行时也可移动，甚至能在地震等环境下稳定重启。

TG70F具备出色的抽气能力，排气速度达70L/s（ISO-R法兰）或75L/s（CF法兰），附加金属保护网时分别为65L/s和70L/s。H₂排气速度为40L/s（ISO-R法兰）或45L/s（CF法兰），最大压缩比N₂为1×10⁸，H₂为1×10⁵，极限压力低于5×10⁻⁷ Pa（ISO-R法兰）或1×10⁻⁷ Pa（CF法兰），满足超高真空需求。其启动时间仅需2-2.5分钟，停止时间20-25分钟，支持快速工艺切换，提升生产效率。

TG70F还注重节能与环保，支持自然风冷与强制风冷模式，允许环境温度范围8-38℃，适应不同工作环境。此外，该泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全标准，集成RS232C串行通信接口，支持远程监控与数据传输，便于系统集成与管理。

TG70F广泛应用于半导体制造、电子枪排气、离子源排气、FPD制造、表面处理、表面改性、各种电子部件的制造、分析试验装置、管材制造、光学部件制造、加速器、辐射设施及核聚变研究等领域。其小巧尺寸与自由安装设计，使其成为实验室、生产线及移动设备的理想选择。