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日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG240F
产品简介:

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG240F是日本OSAKA大阪真空株式会社推出的一款高效、轻巧且耐用的滚珠轴承型涡轮分子泵,专为高真空环境设计。

产品型号:

更新时间:2026-05-08

厂商性质:代理商

访 问 量 :10

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产品介绍
品牌OSAKA/大阪真空价格区间面议
仪器种类分子泵产品类型有油泵
产地类别进口应用领域综合

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG240F

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG240F

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG240F

TG240F是日本OSAKA大阪真空株式会社推出的一款高效、轻巧且耐用的滚珠轴承型涡轮分子泵,专为高真空环境设计。该泵采用油脂润滑滚珠轴承系统,结构紧凑,重量轻(ISO-R法兰型仅7.3kg,CF法兰型10.5kg),便于安装和移动。其核心优势在于的抗冲击性能,可承受超过400次大气冲击,适用于安装在移动设备或运动部件上,如排气车、腔室门等,即使在泵运行时也可移动,甚至能在地震等环境下稳定重启。

TG240F具备出色的抽气能力,排气速度达240L/s(N₂),附加金属保护网时为230L/s,H₂排气速度为160L/s。最大压缩比N₂为1×10⁸,H₂为4×10⁴,极限压力低于1×10⁻⁶ Pa,满足超高真空需求。其启动时间仅需5.5-7.5分钟,停止时间45-60分钟,支持快速工艺切换,提升生产效率。同时,该泵兼容多种气体排放,包括惰性气体,但排放腐蚀性气体时需选用TG-M或TG系列耐腐蚀型号。

TG240F还注重节能与环保,支持风冷模式,允许环境温度范围10-32℃,适应不同工作环境。此外,该泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全标准,集成RS232C串行通信接口,支持远程监控与数据传输,便于系统集成与管理。

TG240F广泛应用于半导体制造、电子枪排气、离子源排气、FPD制造、表面处理、分析检测设备、管材制造、光学元件制造、加速器、辐射设施及核聚变研究等领域。其小巧尺寸与自由安装设计,使其成为实验室、生产线及移动设备的理想选择。


规格


型号TG240FTG240F-20
吸气口ISO-R100 / CF100
排气口KF25KF25
排气速度N₂ (L/s)240
N₂ (附加金属保护网) (L/s)230
H₂ (L/s)160
最大压缩比N₂1×10⁸
H₂4×10⁴
极限压力Pa<1×10⁻⁶ (ISO-R) / <5×10⁻⁷ (CF)
Torr<7.5×10⁻⁹ (ISO-R) / <3.8×10⁻⁹ (CF)
最大气体流量 ※1N₂ (sccm)7070
启动时间min5.5~7.55.5~7.5
停止时间min45~6045~60
允许辅助压力Pa700
Torr5.3
推荐辅助泵L/min≧80
安装角度任意
重量kg【TG240F】7.3 (ISO-R) / 10.5 (CF) 【TG240F-20】6.9 (ISO-R) / 10.1 (CF)
控制器型号 ※2TC245TC246

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