产品型号:
更新时间:2026-05-08
厂商性质:代理商
访 问 量 :10
028-68749778
产品分类
| 品牌 | OSAKA/大阪真空 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 仪器种类 | 分子泵 | 产品类型 | 有油泵 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 综合 |
日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG240F

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG240F
TG240F是日本OSAKA大阪真空株式会社推出的一款高效、轻巧且耐用的滚珠轴承型涡轮分子泵,专为高真空环境设计。该泵采用油脂润滑滚珠轴承系统,结构紧凑,重量轻(ISO-R法兰型仅7.3kg,CF法兰型10.5kg),便于安装和移动。其核心优势在于的抗冲击性能,可承受超过400次大气冲击,适用于安装在移动设备或运动部件上,如排气车、腔室门等,即使在泵运行时也可移动,甚至能在地震等环境下稳定重启。
TG240F具备出色的抽气能力,排气速度达240L/s(N₂),附加金属保护网时为230L/s,H₂排气速度为160L/s。最大压缩比N₂为1×10⁸,H₂为4×10⁴,极限压力低于1×10⁻⁶ Pa,满足超高真空需求。其启动时间仅需5.5-7.5分钟,停止时间45-60分钟,支持快速工艺切换,提升生产效率。同时,该泵兼容多种气体排放,包括惰性气体,但排放腐蚀性气体时需选用TG-M或TG系列耐腐蚀型号。
TG240F还注重节能与环保,支持风冷模式,允许环境温度范围10-32℃,适应不同工作环境。此外,该泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全标准,集成RS232C串行通信接口,支持远程监控与数据传输,便于系统集成与管理。
TG240F广泛应用于半导体制造、电子枪排气、离子源排气、FPD制造、表面处理、分析检测设备、管材制造、光学元件制造、加速器、辐射设施及核聚变研究等领域。其小巧尺寸与自由安装设计,使其成为实验室、生产线及移动设备的理想选择。
| 型号 | TG240F | TG240F-20 | |
|---|---|---|---|
| 吸气口 | ISO-R100 / CF100 | ||
| 排气口 | KF25 | KF25 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 240 | |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 230 | ||
| H₂ (L/s) | 160 | ||
| 最大压缩比 | N₂ | 1×10⁸ | |
| H₂ | 4×10⁴ | ||
| 极限压力 | Pa | <1×10⁻⁶ (ISO-R) / <5×10⁻⁷ (CF) | |
| Torr | <7.5×10⁻⁹ (ISO-R) / <3.8×10⁻⁹ (CF) | ||
| 最大气体流量 ※1 | N₂ (sccm) | 70 | 70 |
| 启动时间 | min | 5.5~7.5 | 5.5~7.5 |
| 停止时间 | min | 45~60 | 45~60 |
| 允许辅助压力 | Pa | 700 | |
| Torr | 5.3 | ||
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧80 | |
| 安装角度 | 任意 | ||
| 重量 | kg | 【TG240F】7.3 (ISO-R) / 10.5 (CF) 【TG240F-20】6.9 (ISO-R) / 10.1 (CF) | |
| 控制器型号 ※2 | TC245 | TC246 | |