日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG60F是日本OSAKA大阪真空株式会社推出的一款高效、轻巧且耐用的滚珠轴承型涡轮分子泵，专为高真空环境设计。

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG60F

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG60F

TG60F是日本OSAKA大阪真空株式会社推出的一款高效、轻巧且耐用的滚珠轴承型涡轮分子泵，专为高真空环境设计。该泵采用油脂润滑滚珠轴承系统，结构紧凑，重量轻（ISO-R法兰型仅3.4kg，CF法兰型5.4kg），便于安装和移动。其核心优势在于的抗冲击性能，可承受超过400次大气冲击，适用于安装在移动设备或运动部件上，如排气车、腔室门等，即使在泵运行时也可移动，甚至能在地震等环境下稳定重启。

TG60F具备出色的抽气能力，排气速度达60L/s（N₂），附加金属保护网时为55L/s，H₂排气速度为22L/s。最大压缩比N₂为2×10⁷，H₂为3×10³，极限压力低于5×10⁻⁶ Pa（ISO-R法兰）或1×10⁻⁶ Pa（CF法兰），满足超高真空需求。其启动时间仅需1.5-2分钟，停止时间15-25分钟，支持快速工艺切换，提升生产效率。同时，该泵兼容多种气体排放，包括惰性气体，但排放腐蚀性气体时需选用TG-M或TG系列耐腐蚀型号。

TG60F还注重节能与环保，支持风冷模式，允许环境温度范围10-38℃，适应不同工作环境。此外，该泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全标准，集成RS232C串行通信接口，支持远程监控与数据传输，便于系统集成与管理。

TG60F广泛应用于半导体制造、电子枪排气、离子源排气、FPD制造、表面处理、分析检测设备、管材制造、光学元件制造、加速器、辐射设施及核聚变研究等领域。其小巧尺寸与自由安装设计，使其成为实验室、生产线及移动设备的理想选择。