产品型号:
更新时间:2026-05-08
厂商性质:代理商
访 问 量 :9
028-68749778
产品分类
| 品牌 | OSAKA/大阪真空 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 仪器种类 | 分子泵 | 产品类型 | 有油泵 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 综合 |
日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG2400F

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG2400F
日本OSAKA大阪真空株式会社推出的TG2400F滚珠轴承型涡轮分子泵,是一款专为高真空环境设计的高效、轻巧且耐用的设备。该泵采用油脂润滑滚珠轴承系统,结构紧凑,重量轻(45kg),便于安装和移动。其核心优势在于的抗冲击性能,可承受超过400次大气冲击,适用于安装在移动设备或运动部件上,如排气车、腔室门等,即使在泵运行时也可移动,甚至能在地震等环境下稳定重启。
TG2400F具备出色的抽气能力,排气速度达2400L/s(N₂),附加金属保护网时为2300L/s,H₂排气速度为1100L/s。最大压缩比N₂为1×10⁸,H₂为1.4×10³,极限压力低于1×10⁻⁶ Pa,满足超高真空需求。其启动时间仅需5-7分钟,停止时间15-18分钟,支持快速工艺切换,提升生产效率。同时,该泵兼容多种气体排放,包括惰性气体,但排放腐蚀性气体时需选用TG-M或TG系列耐腐蚀型号。
TG2400F还注重节能与环保,支持风冷与水冷两种模式,空冷环境下允许温度范围10-32℃,水冷环境下扩展至10-40℃,适应不同工作环境。此外,该泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全标准,集成RS232C串行通信接口,支持远程监控与数据传输,便于系统集成与管理。
TG2400F广泛应用于半导体制造、电子枪排气、离子源排气、FPD制造、表面处理、分析检测设备、管材及光学元件制造、加速器、放射线设施及核聚变研究等领域。其小巧尺寸与自由安装设计,使其成为实验室、生产线及移动设备的理想选择。
| 型号 ※3 | TG2400F | TG2400F-40 | |
|---|---|---|---|
| 吸气口 | VG250 / ISO-B250 | ||
| 排气口 | KF40 | KF40 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 2400 | |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 2300 | ||
| H₂ (L/s) | 1100 | ||
| 最大压缩比 | N₂ | 1×10⁸ | |
| H₂ | 1.4×10³ | ||
| 极限压力 | Pa | <1×10⁻⁶ | |
| Torr | <7.5×10⁻⁹ | ||
| 最大气体流量 ※1 | N₂ (sccm) | 900 | 1500 |
| 启动时间 ※2 | min | 5~7 | 5~7 |
| 停止时间 ※2 | min | 15~18 | 15~18 |
| 允许辅助压力 | Pa | 200 | |
| Torr | 1.5 | ||
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧500 | |
| 安装角度 | 任意 | ||
| 重量 | kg | 45 | |
| 控制器型号 | TC2403 | TC2403-10 | |