产品型号：
更新时间：2026-04-08
厂商性质：代理商
访 问 量 ：14
028-68749778
产品分类
| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵轴位置 | 卧式 | 叶轮数目 | 其他 |
| 应用领域 | 综合 |
日本ULVAC爱发科气体分析仪Qulee CGM2-051
日本ULVAC爱发科气体分析仪Qulee CGM2-051
适用于各种溅射系统的理想过程监测
监测空气泄漏
残余水分管理
不需要差动泵系统（7.5 x 10-3 托/1 x 10-2 毫巴时小于1帕）
内置显示器：无需电脑
高灵敏度泄漏测试可能 (CGM2-052)。更多泄漏测试。
提供多种泄漏测试（氦气泄漏测试、空气泄漏测试、组件测试）
总压力测量（离子ization gauge）可能
包括快速安装包系统 (QIP)。自动测量包（详见选项目录）。
Qulee QCS 包含在内：此软件包含在内且兼容 (Windows 8/10/11)
符合CE标准
光伏、平板显示器和半导体系统的工艺监控
PVD系统中的残余气体分析
在PVD系统中控制杂质（H2O等）
用于泄漏测试
| 模型 | CGM2-051 | CGM2-052 | CGM2-101 | CGM2-102 |
| 质量过滤器类型 | 四极矩 | |||
| 质量范围 | 1到50道尔顿 | 1到100 AMU | ||
| 分辨率 | M/ΔM=1M (10% P.H.) | |||
| 探测器类型 | 法拉第杯 (FC) | 电子显微镜 (SEM) / 法拉第杯 (FC) | 法拉第杯 (FC) | 电子显微镜 (SEM) / 法拉第杯 (FC) |
| 敏感度 | 0.1微安/帕 | SEM：0.1毫安/帕 | 0.1微安/帕 | SEM：0.1毫安/帕 |
| 13.3 微安/托 | SEM：13.3 毫安/托 | 13.3 微安/托 | SEM：13.3 毫安/托 | |
| 10 微安/毫巴 | SEM：10 毫安/毫巴 | 10 微安/毫巴 | SEM：10 毫安/毫巴 | |
| 可检测 部分压力 | 1×10-7 帕 | 标准误差均值: 1×10-10 帕 | 1×10-7 帕 | 标准误差均值: 1×10-10 帕 |
| 7.5×10-10 托 | 标准环境压力：7.5×10-13 托 | 7.5×10-10 托 | 标准环境压力：7.5×10-13 托 | |
| 1×10-9 毫巴 | 标准环境压力：1×10-12 毫巴 | 1×10-9 毫巴 | 标准环境压力：1×10-12 毫巴 | |
| 最大工作 压力 | FC：2帕 | FC: 2帕, SEM: 1×10-2帕 | FC：2帕 | FC: 2 Pa, SEM: 1×10-2Pa |
| FC: 1.5×10-2托 | FC: 1.5×10-2 SEM: 7.5×10-5 毫托 | FC: 1.5×10-2托 | FC: 1.5×10-2 SEM: 7.5×10-5 毫托 | |
| FC: 2×10-2 毫巴 | FC: 2×10-2 SEM: 1×10-4 毫巴 | FC: 2×10-2 毫巴 | FC: 2×10-2 SEM: 1×10-4 毫巴 | |
| 线性度 | 1帕 | |||
| 7.5×10-3 毫托 | ||||
| 1×10-2 毫巴 | ||||
| 总压力函数 | 有能力的 | |||
| 德加函数 | 电子束类型 300V, 5mA | |||
| 一键功能 | 能够 / 他 / H2氧 / N2 / 氧2 / 任何气体 | |||
| 一键泄漏测试功能 | 有能力的 | |||
| 输入功率 | DC24V ±10% 50W | |||
| 最大传感器 工作温度 | 120℃ (248℉) | |||
| 最大传感器 工作温度 | 250℃ (482℉) | |||
| 工作温度 范围 | 10到40℃（50到104华氏度） | |||
| 工作湿度 范围 | 15%到80%（不冷凝） | |||
| 通信接口 | 以太网 | |||
| 软件 | Qulee QCS 版本 4.2 及以后 (Windows 8/10/11) | |||
| 适用标准 | 欧洲共同市场 | |||
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