产品型号：
更新时间：2026-04-08
厂商性质：代理商
访 问 量 ：9
028-68749778
产品分类
| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵轴位置 | 卧式 | 叶轮数目 | 其他 |
| 应用领域 | 综合 |
日本ULVAC爱发科气体分析仪Qulee BGM2-101
日本ULVAC爱发科气体分析仪Qulee BGM2-101
适用于RGA应用
通信接口
以太网兼容
一体化显示屏
无需电脑
简单操作
“一键"功能
烘焙
最高120℃ (248°F) 高温烘焙 (250℃ (482°F) 当传感器被移除时)
脱气功能
电子轰击脱气
保护和维护功能
离子源和二次电子倍增器保护维护帮助功能
提供各种泄漏测试
氦气泄漏测试、空气泄漏测试、泄漏检测
总压测量
具备总压测量能力
Qulee QCS 包含在内
此软件包含在内并兼容 (Windows 8/10/11)
适用标准
符合CE
有机电致发光的残余气体分析
光伏、平板显示器和半导体制造系统的残余气体监测
PVD系统和真空镀膜中的残余气体分析
高真空泵设备的残余气体分析等。
冻干系统残余气体分析
各种类型气体分析用于研发
分辨率 M/△M=1M（10% P.H.）
| 模型 | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| 质量过滤器类型 | 四极矩 | |||
| 质量范围 | 1～100 道 | 1～200 道尔顿 | 1～100 道 | 1～200 道尔顿 |
| 探测器类型 | 法拉第杯 | 电磁管 法拉第杯 | ||
| 敏感度 | 10-7绝对压力 / 毫米汞柱 | 4A / 毫巴 | ||
| 1.3×10-5安培 / 托 | 533A / 托尔 | |||
| 7.5×10-6安培 / 毫巴 | 400A / 毫巴 | |||
| 可检测分压 | 约10-8帕 | 约10-12帕 | ||
| 大约7.5.10-11托 | 约10-15托 | |||
| 约1×10-10毫巴 | 约1×10-14毫巴 | |||
| 最大工作压力 | 1x10-2帕 | |||
| 总压力函数 | 7.5×10-5 涡轮 | |||
| 1.3×10-4毫巴 | ||||
| 一键功能 | 能够 / 他 / H2氧 / N2 / 氧2 / 任何气体 | |||
| 一键 泄漏测试功能 | 有能力的 | |||
| 输入功率 | DC24V±10％ 50W | |||
| 最大传感器 工作温度 | 120℃ (248°F ) | |||
| 最高烘烤 温度（电子元件已移除） | 250℃ (482 °F ) | |||
| 工作温度范围 | 10到40℃ (50到104 °F) | |||
| 软件 | Qulee QCS 版本 4.2 及以后 (Windows 8/10/11) | |||
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