产品型号：
更新时间：2026-04-07
厂商性质：代理商
访 问 量 ：12
028-68749778
产品分类
| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵轴位置 | 卧式 | 叶轮数目 | 其他 |
| 应用领域 | 综合 |
日本ULVAC爱发科冷阴极电离硅管SC1
日本ULVAC爱发科冷阴极电离硅管SC1
传感器规格
当不需要压力显示时，可以实现以下优势：
? 真空计成本降低，因为消除了显示
? 更小的尺寸释放了控制面板的空间
? 电线减少
维护大大简化
灯丝被消除：没有因暴露于大气压力下而造成的损坏
控制输出符号：2 个设定输出
输出信号：压力读数为0到10V的对数输出（非线性输出）
电源电压：由直流24V供电
在半导体、光学和电子元件制造中使用精密真空设备的的压力范围内的过程控制
低真空范围内工业设备（如炉子）的过程控制
在真空中系统具有多个工艺腔室的范围内进行压力控制，例如在线磁控溅射和单晶圆处理设备
| 类型 | 传感器单元 | ||
| 模型 | SC1 | ||
| 兼容传感器头 | C-21, 23, 24, 25 | ||
| 测量压力范围 | 1.0×10-5 到 1.0 帕 | ||
| 7.5×10-8 到 7.5×10-3 托 | |||
| 1.0×10-7 到 1.0×10-2 毫巴 | |||
| 准确性 | ＋100%，－50%（1.0×10-4 至 1.0×10-1 Pa） | ||
| ＋100%，－50%（7.5×10-7 至 7.5×10-4 托） | |||
| ＋100%，－50%（1.0×10-6 至 1.0×10-3 毫巴） | |||
| 测量值输出 | 非线性输出：0到10V直流 | ||
| 压力设定调整监视器 | 非线性输出：0到10V直流 | ||
| 控制输入信号 | 高压开启/关闭 | ||
| 控制输出信号 | 开漏输出，负逻辑 电气放电确认/设定点控制信号 1/2 | ||
| 控制输出信号 | 开漏输出，负逻辑 电气放电确认/设定点控制信号 1/2 | ||
| LED 显示屏 | 电源，高电压，保护，设定点1/2 | ||
| 工作温度范围 | 10到40℃（50到104°F） | ||
| 操作湿度范围 | 15到80%（不冷凝） | ||
| 电源电压 | DC24V±2V，150mA | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub-15针（M2.6 螺丝） | ||
| 重量 | 430克（不包括传感器头） | ||
| 标准配件 | 输入/输出连接器 1个 | ||
| 快速手册 1件 |
* IO和模拟地没有与电源地隔离。
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