产品型号：
更新时间：2026-04-07
厂商性质：代理商
访 问 量 ：15
028-68749778
产品分类
| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵轴位置 | 卧式 | 叶轮数目 | 其他 |
| 应用领域 | 综合 |
日本ULVAC爱发科热阴极真空计SH200-A
日本ULVAC爱发科热阴极真空计SH200-A
ULVAC 自有概念：可根据应用连接不同测量范围的传感器头。
紧凑：与前一型号相比显著减小（控制器体积减少56%）。世界紧凑的类别。
高可用性：通过连接PC/Android进行设定点设置、条件检查等。
更全面的选择：除了模拟输出规格和串行通信规格外，还将提供EtherCAT规格。
灯丝寿命通知功能：通过观察灯丝电源，可以在离子化真空计的寿命到期前发出警告。
广泛的测量范围：测量范围从大气压到超高真空（1 x 10+5到5 x 10-8Pa）是可能的（当与可选单元SWU10-R一起使用时）。
精确的大气压力感应：在使用可选单元SAU时，可以进行腔室开启的大气压力检查。
在高真空范围内对半导体或电子设备的真空设备进行过程控制。
对具有多个工艺腔的在线或批次型真空设备进行压力检查。
高真空或超高真空设备的压力测量。
| 模型 | SH200-A | SH200-R | ST200-E （计划发布） | |
| 类型 | 模拟输出类型 | 串行通信类型 | EtherCAT 通信类型 | |
| 适用的电离 测量传感器头 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | |||
| 可连接传感器 | 多电离真空计 SH200: 1 皮拉尼真空计传感器单元 SWU10-R: 1 (可选) 压力传感器单元 SAU: 1 (可选) | |||
| 重复性 (N2) | SH200 简单模式：±2％ | |||
| 采样时间 | 60 毫秒，5次移动平均 | |||
| 值输出 | 输出电压：0到10 VDC，LOG输出：0.75 V/1 decade 压力转换方程：V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
| 更新时间 | 60毫秒 | |||
| 控制输入信号 | FIL 开/关、FIL 1/2、DEGAS 开/关使用开漏输入，负逻辑 | 输入：- | 输入：- | |
| 控制输出信号 | 传感器错误，设定点1/2/3，排放有效 灯丝电力表 额定电压：24V最大、50mA最大 饱和电压：1V | 输入：- | 输入：- | |
| 通信类型 | 输入：- | RS232C/RS-485 | 以太网控制自动化技术 | |
| LED 显示屏 | 电源：电源，错误指示灯（根据每个模式闪烁模式和颜色变化） | |||
| 发射电流 | 1毫安 (1×10-3帕或更低)， 10微安 (1×10-3帕或更高) | |||
| 德加方法 | 电子束类型 1mA, 330V | |||
| 传感器最大压力 | 2×10+5Pa (1.5 x 10+3 毫托, 2 x 10+3 毫巴) (绝对压力) ＊需要单独的措施来承受压力，例如法兰和夹具 | |||
| 传感器的内部体积 | 17厘米3(M-44), 19厘米3(M-45), 17厘米3(M-46) | |||
| 工作温度范围 | 10到50℃（50到122？） | |||
| 操作湿度范围 | 15到80%（不冷凝） | |||
| 储存温度 | -20至65℃（-4至149？）（在非通电、不冷凝情况下） | |||
| IP等级 | IP30 | |||
| 电源电压 | DC20至28V（纹波、噪声1%或更少）低于8W | |||
| 输入/输出连接器 | D-sub15-pin (M2.6 螺丝) | |||
| 重量 | 传感器单元：约280克，传感器头（M-44/45）：80克，（M-46）：300克 | |||
| 尺寸 W x D x H | 69毫米×63毫米×90毫米（仅感光元件单元） | |||
| 适用标准 | 欧洲共同市场 | |||
| 选项 | 多电离探测器传感器头 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 气体接触部分的材料：灯丝1, 2 -Ir/Y2O3 其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar 玻璃， Kovar/Ni 镀层 | ||
| 皮拉尼真空计 | SWU10-R *旧型号SPU也提供 | |||
| 皮拉尼真空计传感器头 | SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 管端), SWP-P15(Φ15 管端), SWP-CF16(ICF034) 接触气体部分的材料：线圈-铂，其他-BS/Ni 镀层，镍，焊料 | |||
| 压力开关 | SAU(NW16) 气体接触部分的材料：SUS316L | |||
| 单位电缆 | GUC-200P (适用于SWU10-R) ：0.5米, 1米, 2米 GUC-200A (适用于SAU) ：0.5米, 1米, 2米 | |||
| 显示装置 | 1CH：ISG1（直流24伏） | |||
| 显示电缆 | SH200和desiplay unit之间的电缆 2米，5米，10米，15米，20米，25米，30米，35米，40米 | |||
| 连接器 | I/O连接器 (D-sub15-插座（M2.6mm 螺丝)) | |||
| 其他 | 测试证书，校准证书 | |||
“Model:SH200" 有三种选项；简单模式，带有离子室；组合模式，带有离子室和皮拉尼计（SWU10-R）；三重组合模式，带有离子室、皮拉尼计（SWU10-R）和压力开关（SAU）。
| 模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E 简单模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R 组合模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R＋SAU 三重组合模式 |
| 可测量的压力范围 | 5.0×10-8 到 1.0×10+1帕 | 5.0×10-8 至 1.0×10+5帕 | 5.0×10-8 到 1.0×10+5帕 |
| 准确性 | 5.0×10-8 至 1.0×10+1帕： ±15% | 5.0×10-8 至 1.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1 至 3.0×10+0Pa：±10‐±15% 3.0×10+0 至 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 至 1.0×10+5Pa：±20% | 5.0×10-8 到 4.0×10-1 Pa：±15% 4.0×10-1 到 3.0×10-1 Pa：±10‐±15% 3.0×10+0 到 1.0×10+4 Pa：±10% 1.0×10+4 到 3.0×10+5 Pa：±3%F.S.(3.0×10+3 Pa･基准温度: 25℃) |
| 连接图像 |  |  |  |
| 可测量的压力范围图像 |  三重组合可以在需要“大气压力"检查以打开腔室时使用。 | ||
| 适用于PC | 从ULVAC网站“ULVAC SHOWCASE"下载中心下载 |
| 对于智能手机 | 从 Google Play 下载 |
| 个人电脑 | Windows 10 64 位或更高版本 |
| 智能手机 | Android 6或更高版本，USB TypeC |
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