产品型号：
更新时间：2026-04-03
厂商性质：代理商
访 问 量 ：10
028-68749778
产品分类
| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵轴位置 | 卧式 | 叶轮数目 | 其他 |
| 应用领域 | 综合 |
日本ULVAC爱发科高真空溅射离子泵PST-030CU
日本ULVAC爱发科高真空溅射离子泵PST-030CU
分离式泵体和控制器
控制器可以监控运行状态并支持多种通信标准。
自由安装方向
自由安装方向使系统设计更加灵活。
泵速300L/s到4000L/s级阵容
泵旋转变量从25%到100%
通过改变旋转速度来启用腔室的压力调节。
高耐久性和安全性
通过了诸如空气冲击测试和接地测试等安全确认测试。
设备主要真空泵系统
- 半导体设备
- 蒸发器，溅射系统
- 分析设备，实验装置等
主要的真空气泵系统用于不产生副反应产物的轻质工艺。
用于高真空 evac 系统的通用设备。
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 入口端口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 输出端口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷却方法 | 水 冷却 | 空气 冷却 | 水 冷却 | 空气 冷却 | 水 冷却 | 空气 冷却 | 水 冷却 | 空气 冷却 | ||
| 压力 *1 | 帕 | 10-7 | 10-8 | |||||||
| 泵速 *2 | 氮2 | 中长裤 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 阿 | 中长裤 | ー | ||||||||
| 他 | 中长裤 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 | 中长裤 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 压缩率 | 氮2 | 1×109 | ||||||||
| 他 | 8×104 | |||||||||
| H2 | 1×104 | 4×103 | ||||||||
| 最大入口压力 *3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大出口压力 *3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 旋转速度 | 每分钟转数 | 45000 | 35000 | |||||||
| 启动时间 | 5分钟或更少 | |||||||||
| 安装位置 | 在任何期望的方向 | |||||||||
| 表面处理 | 镍镀层 | |||||||||
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 1 - 3 | ー | 1 - 3 | ー | 1 - 3 | ー | 1 - 3 | ー |
| 压力 | 兆帕格 | 02 - 0.5 | ー | 02 - 0.5 | ー | 02 - 0.5 | ー | 02 - 0.5 | ー | |
| 噪音 | 分贝（A） | 60 | ||||||||
| 重量 | 千克 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推荐的背压泵 | 200升/分钟或更多 | 500升/分钟或更多 | ||||||||
| 控制器 | 组成 | 单独类型 | ||||||||
| 输入电功率 | 单相交流200 〜240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz） | |||||||||
| 最大功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
| 速度变化 | 速度可在额定速度的25%到100%之间变化。（设置为0.1%） | |||||||||
| 沟通 | 联系 | |||||||||
| 串口：RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 重量 | 千克 | 8 | ||||||||
| 模型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 入口端口 | VG200 / ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 输出端口 | KF40 | ||||||
| 冷却方法 | 水冷 | ||||||
压力 *1 | 帕 | 10-7 | |||||
| 泵速 *2 | 氮2 | 中长裤 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 阿 | 中长裤 | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | 中长裤 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| H2 | 中长裤 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 压缩率 | 氮2 | 6×108 | 1×109 | ||||
| 他 | 1×104 | 7×104 | 1×105 | 3×104 | |||
| H2 | 1×103 | 3×103 | 6×103 | 2×103 | |||
| 最大入口压力 *3 | 帕 | 133 | 40 | ||||
| 最大出口压力 *3 | 帕 | 270 | 270 | ||||
| 旋转速度 | 每分钟转数 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 启动时间 | 7分钟或更少 | 11分钟或更少 | 12分钟或更少 | 18分钟或更少 | |||
| 安装位置 | 在任何期望的方向 | ||||||
| 表面处理 | 镍镀层 | ||||||
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 1 - 3 | 2 - 4 | |||
| 压力 | 兆帕格 | 02 - 0.5 | |||||
| 噪音 | 分贝（A） | 60 | 57 | 60 | |||
| 重量 | 千克 | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推荐的背压泵 | 600升/分钟或更多 | 1300升/分钟或更多 | 1500升/分钟或更多 | ||||
| 控制器 | 组成 | 单独类型 | |||||
| 输入电功率 | 单相交流200 〜240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz） | ||||||
| 最大功率 | 1.0 | 1.5 | |||||
| 速度变化 | 速度可在额定速度的25%到100%之间变化。（设置为0.1%） | ||||||
| 沟通 | 联系 | ||||||
| 串口：RS-232C / RS-485 | |||||||
| 重量 | 千克 | 8 | |||||
*1：数字表示。
*2：没有保护网。
*3：最大入口压力和最大出口压力不能同时满足。
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