日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵C10此产品是操作低温泵所必需的。
压缩氦气被送入冰箱，从冰箱返回的高温氦气被冷却并循环。

日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵C10

日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵C10是一款基于低温冷凝与吸附原理的高性能真空设备，广泛应用于半导体制造、光学镀膜、真空钎焊、科研实验等对洁净度和真空度要求严苛的领域。其核心优势体现在以下几个方面：

一、无油清洁设计，极限真空度高‌

C10低温泵采用闭循环氦气制冷系统，无需油类介质，避免了油蒸气污染真空腔体的问题，特别适合对洁净度敏感的工艺环境。通过两级冷头设计，第一级冷头温度维持在50-80K，可高效冷凝水蒸气、二氧化碳等气体；第二级冷头温度降至10-20K，进一步捕获氮气、氧气等气体；而极低温区域（2-4K）则用于吸附氢气、氦气等难冷凝气体。这种分级冷凝机制使其极限真空度可达10⁻⁷至10⁻¹¹Pa，满足超高真空需求。

二、结构紧凑，运行稳定‌

C10低温泵采用模块化设计，体积小巧、重量轻（约75-77kg），便于集成到各类真空系统中。其闭循环制冷系统无需外部冷却水供应（部分型号支持风冷），简化了安装流程。同时，低温泵运行振动极小，对精密仪器（如电子显微镜、半导体光刻机）的干扰可忽略不计，确保工艺稳定性。

三、高效抽气与选择性控制‌

C10低温泵对不同气体具有差异化抽速：对水蒸气等易冷凝气体抽速极快，可显著缩短真空腔体排气时间；对惰性气体（如氩气）则通过低温吸附实现高效捕获。此外，通过调节冷头温度，可针对性优化对特定气体的抽气效率，满足复杂工艺需求。

四、可再生性与低维护成本‌

当吸附材料饱和后，C10低温泵可通过加热再生循环恢复抽气能力，延长使用寿命。其核心部件（如冷头、压缩机）设计寿命长达24,000小时，且支持模块化更换，降低长期维护成本。部分型号（如C10AT）采用风冷设计，进一步简化了维护流程。

五、典型应用场景‌

半导体制造‌：用于光刻、蚀刻、沉积等工艺的真空环境构建。

光学镀膜‌：在真空镀膜机中提供无油、高洁净度的真空条件。

科研实验‌：支持高能物理、材料科学等领域的超高真空实验需求。

工业加工‌：适用于真空钎焊、真空热处理等高温工艺的排气系统。

六、技术参数（以C10T为例）‌

电源‌：190-230V，50/60Hz，三相

功率‌：1.5kW（50Hz）/1.7kW（60Hz）

冷却方式‌：水冷或风冷（依型号而定）

重量‌：75-77kg

极限压力‌：10⁻¹¹ Pa（需配合前级泵使用）

日本ULVAC爱发科C10低温泵凭借其无油清洁、极限真空度高、运行稳定等特性，成为高精度真空系统的理想选择，为半导体、科研、工业等领域提供了可靠的真空解决方案。

此产品是操作低温泵所必需的。压缩氦气被送入冰箱，从冰箱返回的高温氦气被冷却并循环。