




产品型号:
更新时间:2026-04-03
厂商性质:代理商
访 问 量 :10
028-68749778
产品分类
| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵轴位置 | 卧式 | 叶轮数目 | 其他 |
| 应用领域 | 综合 |
日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵CRYO-U8H

日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵CRYO-U8H
CRYO-U4H是日本ULVAC(爱发科)推出的一款高真空低温泵,隶属于CRYO-U系列,依托品牌70余年真空技术积淀,专为半导体、电子设备、光学及科研等领域的高真空需求场景设计。该产品采用两级GM制冷机技术,可稳定实现高真空至超高真空环境,为精密制造与前沿研究提供可靠的真空保障。
抽气效率:作为4英寸规格低温泵,CRYO-U4H具备强劲抽速表现,20℃环境下氮抽速可达450升/秒,氢抽速500升/秒,水抽速更是高达1100升/秒,能快速建立并维持真空环境,显著提升生产与实验效率。极限压力可达10^-7帕,满足超高真空应用标准。
智能集群控制:支持单压缩机驱动多台泵体运行,最多可串联4台CRYO-U4H,大幅降低设备投入与运维成本,尤其适合多工位生产线集中管控。
定制化适配:可根据客户应用场景进行针对性设计调整,如优化冷却路径、适配特殊接口等,灵活匹配半导体溅射工艺、小型精密仪器研发等多样化需求。
产品采用闭式循环氦制冷系统,无需频繁补充冷却液,实现长期稳定运行。制冷机分为两级:一级制冷能力强劲,可将温度降至80K以下,为二级制冷提供热屏蔽;二级制冷虽功率较小,但能将冷头温度降至10-12K,通过15K低温面板实现气体冷凝与吸附。80K级屏蔽层有效减少热辐射干扰,保障低温面板制冷效率。整机重量仅14.5公斤,紧凑设计节省安装空间,同时具备低震动、低噪音特性,适配精密环境要求。
ULVAC作为*真空技术企业,在苏州、上海、成都等地设立生产与服务基地,为中国客户提供本地化技术支持与售后保障。CRYO-U4H凭借稳定性能与品牌口碑,成为半导体芯片制造、光学元件镀膜等领域的核心真空设备之一
轻便紧凑。已发货数量众多。我们的标准低温泵。
适用于实验系统和小型设备。
多个操作(最多3个单位)
超高真空(10-8 Pa或更低)
| 泵速(20℃) | 氮 | 中长裤 | 1700 |
| 氢气 | 2,700 | ||
| 氩 | 1,400 | ||
| 水 | 4000 | ||
| 压力 | 压力(托) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(托拉斯・L/s) | 1.2×103(8.9) |
| 泵的容量 | 氩 | Pa・L(托耳・升) | 1.0×108(7.6×105) |
| 氢气 | 1.0×106(7.6×103) | ||
| 冷却时间 (电源循环) | 最小频率(赫兹) | 100/90(50/60) | |
| 安装法兰 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
| 压缩机装置 | C10T,C10AT | ||
| 重量 | 千克 | 20.8 | |
*维护间隔:16,000小时
