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日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵CRYO-U8H
产品简介:

日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵CRYO-U8H“Model: CRYO-U8H" 是一种使用二级 GM 冷却器的低温泵,能够实现高真空抽气。

产品型号:

更新时间:2026-04-03

厂商性质:代理商

访 问 量 :10

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品牌ULVAC/日本爱发科输送介质其他
泵轴位置卧式叶轮数目其他
应用领域综合

日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵CRYO-U8H

日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵CRYO-U8H

日本ULVAC爱发科高真空泵低温泵CRYO-U8H

CRYO-U4H是日本ULVAC(爱发科)推出的一款高真空低温泵,隶属于CRYO-U系列,依托品牌70余年真空技术积淀,专为半导体、电子设备、光学及科研等领域的高真空需求场景设计。该产品采用两级GM制冷机技术,可稳定实现高真空至超高真空环境,为精密制造与前沿研究提供可靠的真空保障。

二、核心性能优势

  1. 抽气效率:作为4英寸规格低温泵,CRYO-U4H具备强劲抽速表现,20℃环境下氮抽速可达450升/秒,氢抽速500升/秒,水抽速更是高达1100升/秒,能快速建立并维持真空环境,显著提升生产与实验效率。极限压力可达10^-7帕,满足超高真空应用标准。

  2. 智能集群控制:支持单压缩机驱动多台泵体运行,最多可串联4台CRYO-U4H,大幅降低设备投入与运维成本,尤其适合多工位生产线集中管控。

  3. 定制化适配:可根据客户应用场景进行针对性设计调整,如优化冷却路径、适配特殊接口等,灵活匹配半导体溅射工艺、小型精密仪器研发等多样化需求。

三、技术与结构特点

产品采用闭式循环氦制冷系统,无需频繁补充冷却液,实现长期稳定运行。制冷机分为两级:一级制冷能力强劲,可将温度降至80K以下,为二级制冷提供热屏蔽;二级制冷虽功率较小,但能将冷头温度降至10-12K,通过15K低温面板实现气体冷凝与吸附。80K级屏蔽层有效减少热辐射干扰,保障低温面板制冷效率。整机重量仅14.5公斤,紧凑设计节省安装空间,同时具备低震动、低噪音特性,适配精密环境要求。

四、品牌与服务保障

ULVAC作为*真空技术企业,在苏州、上海、成都等地设立生产与服务基地,为中国客户提供本地化技术支持与售后保障。CRYO-U4H凭借稳定性能与品牌口碑,成为半导体芯片制造、光学元件镀膜等领域的核心真空设备之一

功能

  • 轻便紧凑。已发货数量众多。我们的标准低温泵。

  • 适用于实验系统和小型设备。

  • 多个操作(最多3个单位)

  • 超高真空(10-8 Pa或更低)


规格

泵速(20℃)中长裤1700
氢气2,700
1,400
4000
压力压力(托)10-7(10-9)
最大流量Pa・L/s(托拉斯・L/s)1.2×103(8.9)
泵的容量Pa・L(托耳・升)1.0×108(7.6×105)
氢气1.0×106(7.6×103)
冷却时间
(电源循环)
最小频率(赫兹)100/90(50/60)
安装法兰UVG-200,6BANSI,UFC-253
压缩机装置C10T,C10AT
重量千克20.8

*维护间隔:16,000小时



尺寸(单位:毫米)

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