产品型号：
更新时间：2025-08-01
厂商性质：代理商
访 问 量 ：124
028-68749778
产品分类
| 品牌 | Hexagon/海克斯康 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 产品种类 | 桥式 |
| 工作方式 | 垂直式 | 工作原理 | 自动型 |
| 应用领域 | 综合 |
海克斯康Hexagon三坐标测量LeitzReference
海克斯康Hexagon三坐标测量LeitzReference
Leitz Reference系列代表着海克斯康在工业计量领域的最高技术成就，专为计量实验室和制造领域设计。作为几何量测量的标准器，其突破性的技术架构重新定义了精密测量的可能性边界。
QUARTZ纳米级计量系统：
采用零膨胀石英玻璃光栅尺，热膨胀系数低至0.05×10⁻⁶/K
配备双频激光干涉仪，实现0.1nm分辨率
六轴全闭环控制，实时补偿位置偏差
THERMO-ULTRA环境控制系统：
64点温度监测网络，采样频率10Hz
自适应补偿算法，温度稳定性±0.01℃/4h
主动气浮隔震平台，振动抑制>40dB(15-100Hz)
参数类别 | 技术指标 | 测试标准 |
|---|---|---|
空间精度 | 0.15μm+L/800μm | ISO 10360-2 |
重复性 | ≤0.08μm(3σ) | VDI/VDE 2617 |
温度稳定性 | 0.2μm/24h | JJF 1064 |
最大允许误差 | 小于0.3μm+0.4L/1000μm | DIN 876 |
标准器溯源检测：
可校准1等量块、标准环规等最高等级计量器具
支持PLM模式下的绝对测量，不确定度<0.1μm
芯片制造质量控制：
晶圆翘曲度测量分辨率达5nm
光刻机工件台平面度全自动检测
航空航天关键部件：
发动机叶片叶型轮廓测量，点距可调至10μm
航天器光学基准面共面性分析
REFERENCE-SPHERE智能校准系统：
内置Ø50mm基准球，自校准时间<15分钟
全自动误差映射，生成补偿系数矩阵
LEITZ-EXPERT测量软件：
支持ISO 14253-1标准下的不确定性评估
可生成符合ILAC-P14要求的校准证书
远程监控与诊断：
4G/5G数据传输，实时监测设备状态
AI驱动的预测性维护系统
Leitz Reference不仅是一台测量设备，更是现代制造业的质量基石。其突破性的技术架构为芯片制造、航空航天、精密光学等领域提供了可靠的计量保障，将持续工业计量技术的新发展。
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