产品型号：
更新时间：2026-06-02
厂商性质：代理商
访 问 量 ：10
028-68749778
产品分类
| 品牌 | ACCRETECH/东京精密 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
日本ACCRETECH东京精密半导体设备AL3000
日本ACCRETECH东京精密半导体设备AL3000
独自的激光引擎机构实现了高质量加工和高吞吐量的兼顾
传统的激光切割工艺中，高质量加工和高吞吐量难以兼顾，存在权衡关系。
通过我公司独特的激光引擎机构+高刚性平台的组合，
提供了高品质和高吞吐量的激光切割工艺。
直径300毫米晶圆专用 全自动激光切割机
从水溶性保护膜涂布到激光切割、清洗等整个流程自动对应。
激光切割工艺
适用于低k切割、街道上的TEG去除的光学设计。
通过热加工变形和损伤最小化，形成稳定的加工槽。
操作性
采用17英寸触摸屏+GUI（图形用户界面）。
只需触摸图标化的按钮，即可实现简单操作和舒适操作。
搭载与AD/SS系列相同的操作体系，方便使用。
规格
| 装置名 | AL3000 | |
| 加工方式 | 消融 | |
| 激光发生器 | 半导体激光激励 Q开关固体激光 | |
| 波长 | 355 纳米 | |
| 最大工作尺寸 | 直径 305 毫米 | |
| 加工可能范围 | 310 毫米 x 310 毫米 | |
| X 轴 | 最高速度 | 1,000 毫米/秒 |
| Y 轴 | 最高速度 | 300 毫米/秒 |
| 控制分解能 | 0.078 微米 | |
| Z 轴 | Z 轴最高速度 | 10 毫米/秒 |
| Z轴重复精度 | 1.0 微米 | |
| θ轴 | θ轴 最大旋转角度 | 380.0 度 |
| 电压 | (V)三相AC200 ～ 220V ± 10％ 50/60Hz 以上条件下需要变压器 |
| 消耗电力 | 2.0 kVA（参考值） |
| 空气供应压力 | 0.5 ～ 0.7 兆帕 |
| 空气平均消费量 | 400 升/分钟 |
| N2 供給压力 | 0.3 ～ 0.5 兆帕 |
| N2 平均消费量 | 30 升/分钟 |
| 纯水供应压力 | 0.3 ～ 0.5 兆帕 |
| 纯水最大消费流量 | 6.0 升/分钟 |
| 排气量 | 4.0 以上 米3/分钟 |
| 装置外形尺寸 WxDxH | 1,645 毫米 x 1,680 毫米 x 1,800 毫米 |
| 装置重量 | 2,500 公斤 |
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