
产品型号:
更新时间:2026-06-02
厂商性质:代理商
访 问 量 :14
028-68749778
产品分类
| 品牌 | ACCRETECH/东京精密 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
日本ACCRETECH东京精密半导体设备SS11

日本ACCRETECH东京精密半导体设备SS11
特长
紧凑型设计 Φ150mm晶圆兼容减薄机
追求窄幅设计,大幅提高多台设备并排布置时的单位面积生产力。
高性能・高出力 spindle 标准配备
额定功率1.8kW,最高转速60,000rpm。
额定功率2.2kW 的高扭矩 spindle 也可以作为选项配备。
从 Si 到电子元件,支持各种设备的切割。
提高生产力(吞吐量)
刚性提升+ X轴伺服电机化
实现紧凑型占地面积与高吞吐量
操作性
采用17英寸触摸屏+GUI(图形用户界面)。
只需触摸图标化的按钮,即可实现简单操作和舒适操作。
搭载与AD/SS系列相同的操作体系,方便使用。
规格
| 最大工作尺寸 | 直径150毫米 |
| 主轴布局 | 单轴 |
| 主轴定格 | 1.8千瓦 |
| 主轴 最高转速 | 60,000 转/分钟 |
| X轴 送入速度输入范围 | 0.1-300 毫米/秒 |
| X轴 速度返回 | 750 毫米/秒 |
| Y轴 分解能 | 0.0001 毫米 |
| Y轴 位置精度 | 0.002 毫米/162 毫米 |
| Z轴 重复精度 | 0.001 毫米 |
| Z轴 标准对应刀片径 | Φ48-60 毫米 |
| 规格 尺寸(W x D x H) | 495 毫米 x 880 毫米 x 1,715 毫米 |
| 规格 质量 | 389 公斤 |