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日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TS440
产品简介:

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TS440是日本OSAKA大阪真空株式会社推出的一款高效、紧凑且耐用的滚珠轴承型涡轮分子泵,专为高真空环境设计。

产品型号:

更新时间:2026-05-08

厂商性质:代理商

访 问 量 :13

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产品介绍
品牌OSAKA/大阪真空价格区间面议
仪器种类分子泵产品类型有油泵
产地类别进口应用领域综合

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TS440

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TS440

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TS440

TS440是日本OSAKA大阪真空株式会社推出的一款高效、紧凑且耐用的滚珠轴承型涡轮分子泵,专为高真空环境设计。该泵采用油脂润滑滚珠轴承系统,结构紧凑,重量轻,便于安装和移动。其核心优势在于的抗冲击性能,可承受超过300,000次大气冲击,适用于安装在移动设备或运动部件上,如排气车、腔室门等,即使在泵运行时也可移动,甚至能在地震等环境下稳定重启。

TS440具备出色的抽气能力,排气速度适中,能够满足多种高真空应用的需求。其最大压缩比N₂和H₂均达到较高水平,极限压力低于1×10⁻⁶ Pa,满足超高真空需求。该泵启动迅速,停机时间短,支持快速工艺切换,提升生产效率。

在节能与环保方面,TS440支持风冷模式,允许环境温度范围10-32℃,适应不同工作环境。此外,该泵符合NRTL/SEMI-S2安全标准,集成通信接口,支持远程监控与数据传输,便于系统集成与管理。

TS440广泛应用于半导体制造、电子枪排气、离子源排气、FPD制造、表面处理、分析检测设备、管材制造、光学元件制造、加速器、辐射设施及核聚变研究等领域。其小巧尺寸与自由安装设计,使其成为实验室、生产线及移动设备的理想选择。同时,该泵还提供耐腐蚀气体型分子泵,满足特殊工艺需求。


规格


型号TS440/TS443
吸气口VG150 / CF160 / ISO-B160
排气口KF40
排气速度N₂ (L/s)440
N₂ (附加金属保护网) (L/s)410
H₂ (L/s)320
最大压缩比N₂2×10⁶
H₂1×10³
极限压力Pa<1×10⁻⁵ *³
Torr<7.5×10⁻⁸ *³
最大气体流量 *1 *2N₂ (sccm)10860
启动时间min10~14
停止时间min23~28
允许辅助压力Pa2000
Torr15
推荐辅助泵L/min≧500
安装角度垂直(±10°)
重量kg60
控制器型号TC443S

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