日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TS50是日本OSAKA大阪真空株式会社推出的一款高效、紧凑且耐用的滚珠轴承型涡轮分子泵，专为高真空环境设计。

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TS50

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TS50

TS50是日本OSAKA大阪真空株式会社推出的一款高效、紧凑且耐用的滚珠轴承型涡轮分子泵，专为高真空环境设计。该泵采用油脂润滑滚珠轴承系统，结构紧凑，重量轻（仅11kg），便于安装和移动。其核心优势在于的抗冲击性能，可承受超过300,000次大气冲击，适用于安装在移动设备或运动部件上，如排气车、腔室门等，即使在泵运行时也可移动，甚至能在地震等环境下稳定重启。

TS50具备出色的抽气能力，进气法兰有VG100、CF100、ISO-R100系列可选，抽速N₂为25L/s，带保护网时为23L/s，H₂抽速为13L/s。最大压缩比N₂为2×10⁶，H₂为50，极限压力低于7.5×10⁻⁷ Torr（或1×10⁻⁴ Pa），满足高真空需求。其启动时间仅需2.5-3.5分钟，停机时间2.5-5分钟，支持快速工艺切换，提升生产效率。

该泵还注重节能与环保，支持风冷模式，允许环境温度范围10-32℃，适应不同工作环境。此外，TS50符合NRTL/SEMI-S2安全标准，集成RS232C通信接口，支持远程监控与数据传输，便于系统集成与管理。

TS50广泛应用于半导体制造、电子枪排气、离子源排气、FPD制造、表面处理、分析检测设备、管材制造、光学元件制造、加速器、辐射设施及核聚变研究等领域。其小巧尺寸与自由安装设计，使其成为实验室、生产线及移动设备的理想选择。同时，该泵还提供耐腐蚀气体型分子泵，满足特殊工艺需求。