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日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG800F
产品简介:

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG800F是一款专为高真空环境设计的紧凑型设备,其核心优势在于小型化、轻量化与低成本,同时具备出色的抗冲击性能和灵活的安装适应性。

产品型号:

更新时间:2026-05-08

厂商性质:代理商

访 问 量 :11

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产品介绍
品牌OSAKA/大阪真空价格区间面议
仪器种类分子泵产品类型有油泵
产地类别进口应用领域综合

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG800F

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG800F

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG800F

日本OSAKA大阪真空株式会社推出的TG800F滚珠轴承型涡轮分子泵,是一款集高效抽气、轻巧设计、节能环保与高抗冲击性于一体的真空设备,专为高真空环境需求设计。

TG800F采用油脂润滑滚珠轴承系统,结构紧凑,重量轻(VG/ISO-B法兰型26kg,CF法兰型27kg),显著降低了设备整体负担。其核心优势在于的抗冲击性能,可承受超过400次大气冲击,适用于安装在移动设备或运动部件上,如排气车、腔室门等,即使在泵运行时也可移动,甚至能在地震等环境下稳定重启。

在性能方面,TG800F具备出色的抽气能力,排气速度达820L/s(N₂),附加金属保护网时为750L/s,H₂排气速度为650L/s。最大压缩比N₂为1×10⁸,H₂为1×10⁴,极限压力低于1×10⁻⁶ Pa,满足超高真空需求。其启动时间仅需7-9分钟(不同电源型号有所差异),停止时间12-32分钟,支持快速工艺切换,提升生产效率。同时,该泵兼容多种气体排放,包括惰性气体,但排放腐蚀性气体时需选用TG-M或TG系列耐腐蚀型号。

TG800F还注重节能与环保,支持风冷与水冷两种模式,空冷环境下允许温度范围10-32℃,水冷环境下扩展至10-40℃,适应不同工作环境。此外,该泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全标准,集成RS232C串行通信接口,支持远程监控与数据传输,便于系统集成与管理。

TG800F广泛应用于半导体制造、电子枪排气、离子源排气、FPD制造、表面处理、分析试验装置、光学部件制造及核聚变研究等领域,其小巧尺寸与自由安装设计,使其成为实验室、生产线及移动设备的理想选择。


规格


型号 ※3TG800F□AB / TG800F□WBTG800F□AB-60 / TG800F□WB
吸气口VG150 / ISO-B160 / CF160
排气口KF40KF40
排气速度N₂ (L/s)820
N₂ (附加金属保护网) (L/s)750
H₂ (L/s)650
最大压缩比N₂1×10⁸
H₂1×10⁴
极限压力Pa<1×10⁻⁶
Torr<7.5×10⁻⁹
最大气体流量 ※1 ※2N₂ (sccm)330860
启动时间 ※2min7~95.5~7
停止时间 ※2min27~3212~15
允许辅助压力Pa330
Torr2.5
推荐辅助泵L/min≧250
安装角度任意
重量kg26 (VG・ISO-B) / 27 (CF)
控制器型号TC1104ATC1103

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