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日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG450F
产品简介:

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG450F是一款专为高真空环境设计的紧凑型设备,其核心优势在于小型化、轻量化与低成本,同时具备出色的抗冲击性能和灵活的安装适应性。

产品型号:

更新时间:2026-05-08

厂商性质:代理商

访 问 量 :13

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产品介绍
品牌OSAKA/大阪真空价格区间面议
仪器种类分子泵产品类型有油泵
产地类别进口应用领域综合

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG450F

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG450F

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG450F

日本OSAKA大阪真空株式会社推出的TG450F滚珠轴承型涡轮分子泵,是一款集高效抽气、轻巧设计、节能环保与高抗冲击性于一体的真空设备,专为高真空环境需求设计。

TG450F采用油脂润滑滚珠轴承系统,结构紧凑,重量轻(VG/ISO-R法兰型仅7kg,CF法兰型10kg),显著降低了设备整体负担。其核心优势在于的抗冲击性能,可承受超过400次大气冲击,适用于安装在移动设备或运动部件上,如排气车、腔室门等,即使在泵运行时也可移动,甚至能在地震等环境下稳定重启。

在性能方面,TG450F具备高效的抽气能力,排气速度达450L/s(N₂),附加金属保护网时为430L/s,H₂排气速度为240L/s。最大压缩比N₂为1×10⁸,H₂为2×10³,极限压力低于1×10⁻⁶ Pa,满足超高真空需求。其启动时间仅需2-2.5分钟,停止时间5-6.5分钟,支持快速工艺切换,提升生产效率。同时,该泵兼容多种气体排放,包括惰性气体,但排放腐蚀性气体时需选用TG-M或TG系列耐腐蚀型号。

TG450F还注重节能与环保,支持风冷与水冷两种模式,空冷环境下允许温度范围10-32℃,水冷环境下扩展至10-40℃,适应不同工作环境。此外,该泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全标准,集成RS232C串行通信接口,支持远程监控与数据传输,便于系统集成与管理。

TG450F广泛应用于半导体制造、电子枪排气、FPD制造、表面处理、分析检测设备、光学部件制造及核聚变研究等领域,其小巧尺寸与自由安装设计,使其成为实验室、生产线及移动设备的理想选择。


规格


型号TG450F
吸气口VG150 / ISO-B160 / CF160
排气口KF25
排气速度N₂ (L/s)450
N₂ (附加金属保护网) (L/s)430
H₂ (L/s)240
最大压缩比N₂1×10⁸
H₂2×10³
极限压力Pa<1×10⁻⁶
Torr<7.5×10⁻⁹
最大气体流量 ※1N₂ (sccm)500
启动时间min2~2.5
停止时间min5~6.5
允许辅助压力Pa260
Torr2
推荐辅助泵L/min≧80
安装角度任意
重量kg7 (VG・ISO-R) / 10 (CF)
控制器型号TC353A

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