产品型号:
更新时间:2026-05-08
厂商性质:代理商
访 问 量 :13
028-68749778
产品分类
| 品牌 | OSAKA/大阪真空 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 仪器种类 | 分子泵 | 产品类型 | 有油泵 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 综合 |
日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG450F

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG450F
日本OSAKA大阪真空株式会社推出的TG450F滚珠轴承型涡轮分子泵,是一款集高效抽气、轻巧设计、节能环保与高抗冲击性于一体的真空设备,专为高真空环境需求设计。
TG450F采用油脂润滑滚珠轴承系统,结构紧凑,重量轻(VG/ISO-R法兰型仅7kg,CF法兰型10kg),显著降低了设备整体负担。其核心优势在于的抗冲击性能,可承受超过400次大气冲击,适用于安装在移动设备或运动部件上,如排气车、腔室门等,即使在泵运行时也可移动,甚至能在地震等环境下稳定重启。
在性能方面,TG450F具备高效的抽气能力,排气速度达450L/s(N₂),附加金属保护网时为430L/s,H₂排气速度为240L/s。最大压缩比N₂为1×10⁸,H₂为2×10³,极限压力低于1×10⁻⁶ Pa,满足超高真空需求。其启动时间仅需2-2.5分钟,停止时间5-6.5分钟,支持快速工艺切换,提升生产效率。同时,该泵兼容多种气体排放,包括惰性气体,但排放腐蚀性气体时需选用TG-M或TG系列耐腐蚀型号。
TG450F还注重节能与环保,支持风冷与水冷两种模式,空冷环境下允许温度范围10-32℃,水冷环境下扩展至10-40℃,适应不同工作环境。此外,该泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全标准,集成RS232C串行通信接口,支持远程监控与数据传输,便于系统集成与管理。
TG450F广泛应用于半导体制造、电子枪排气、FPD制造、表面处理、分析检测设备、光学部件制造及核聚变研究等领域,其小巧尺寸与自由安装设计,使其成为实验室、生产线及移动设备的理想选择。
| 型号 | TG450F | |
|---|---|---|
| 吸气口 | VG150 / ISO-B160 / CF160 | |
| 排气口 | KF25 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 450 |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 430 | |
| H₂ (L/s) | 240 | |
| 最大压缩比 | N₂ | 1×10⁸ |
| H₂ | 2×10³ | |
| 极限压力 | Pa | <1×10⁻⁶ |
| Torr | <7.5×10⁻⁹ | |
| 最大气体流量 ※1 | N₂ (sccm) | 500 |
| 启动时间 | min | 2~2.5 |
| 停止时间 | min | 5~6.5 |
| 允许辅助压力 | Pa | 260 |
| Torr | 2 | |
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧80 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | kg | 7 (VG・ISO-R) / 10 (CF) |
| 控制器型号 | TC353A | |