日本OSAKA大阪小型螺杆干式真空泵FR060D是一款风冷型多级螺杆干式真空泵，专为需要无油洁净排气且需处理水蒸气的工况设计，广泛应用于半导体制造、分析仪器、真空镀膜、负载锁室及小型实验设备等领域。

日本OSAKA大阪小型螺杆干式真空泵FR060D

日本OSAKA大阪小型螺杆干式真空泵FR060D

日本OSAKA大阪真空机器制作所推出的FR060D是一款风冷型多级螺杆干式真空泵，专为需要无油洁净排气且需处理水蒸气的工况设计，广泛应用于半导体制造、分析仪器、真空镀膜、负载锁室及小型实验设备等领域。

FR060D采用多级螺杆转子结构，通过纯风冷设计实现大气压下直接连续运行，无需外接冷却水，大幅简化了安装与运维流程。其核心优势在于实现了真正的无油真空环境，真空侧无油设计杜绝了油蒸气或颗粒逆流至真空腔室，确保了排气的洁净度，满足ISO 1级洁净室标准，尤其适配分子泵前级泵等对污染敏感的场景。

性能方面，FR060D表现。其最大排气速度达1000 L/min，开放气镇模式下仍能保持800 L/min的排气速度；极限压力低至1.0 Pa（无气镇），开启气镇功能后为2.0 Pa，有效防止水蒸气凝结。该泵具备500 g/hr的水蒸气处理能力，可连续吸入水蒸气，适合带水汽或溶剂的工艺，如干燥、清洗及镀膜等。此外，FR060D从大气压到极限真空全程保持高抽速，排气时间较同流量旋片泵缩短30%以上，适合频繁破真空及快速循环工况。

FR060D设计紧凑，重量仅75公斤，便于搬运与安装。其多级罗茨结构经动平衡优化，振动小、噪音低，且无油污染、磨损小，维护周期长达6000小时以上，仅需定期更换少量轴承润滑油（90ml）。该泵符合CE、SEMI、NRTL等国际标准，支持单相/三相200-240V电源，环境温度适应范围5-40℃，展现了环境适应性。