日本OSAKA大阪小型螺杆干式真空泵ER100D是一款高效节能的小型螺杆干式真空泵，专为需要无油、洁净真空环境的精密应用设计。该泵凭借其紧凑结构、轻量化设计及性能，在半导体制造、分析仪器、真空镀膜等领域得到广泛应用。

日本OSAKA大阪小型螺杆干式真空泵ER100D

日本OSAKA大阪小型螺杆干式真空泵ER100D

日本OSAKA大阪真空机器制作所推出的ER100D是一款高效节能的小型螺杆干式真空泵，专为需要无油、洁净真空环境的精密应用设计。该泵凭借其紧凑结构、轻量化设计及性能，在半导体制造、分析仪器、真空镀膜等领域得到广泛应用。

ER100D采用多级螺杆转子结构，通过单轴连接多级转子进行压缩，实现大气压下排气，确保了洁净真空环境。其独特的转子设计与空转功能显著降低了运行时的流体动力损失，使泵在低负载时能自动降低功耗，极限压力下能耗仅为400W，成为同级产品中的节能。此外，该泵无需润滑油，避免了油蒸气或颗粒逆流至真空腔室，排气洁净度满足ISO 1级洁净室标准。

在性能参数方面，ER100D表现。其排气速度达1670 L/min，极限压力低至5 Pa，足以胜任低真空至中真空范围的应用要求。泵体采用水冷设计，冷却水用量为1.5-3 L/min，确保了长时间运行的稳定性。该泵体积小巧，占地面积仅0.11平方米，重量60公斤，便于搬运与安装。电源要求为三相200-220V，50/60Hz，电源容量3.2kVA，适应多种工业环境。

ER100D提供两种型号以满足不同工艺需求：标准型ER100D适用于轻负载洁净工艺的排气；耐腐蚀型ER100DC则采用抗腐蚀材料制造，可排放腐蚀性气体，适用于半导体工艺等苛刻环境。此外，该泵符合CE、SEMI、NRTL等国际标准，满足全球市场的合规要求。

ER100D凭借其节能、紧凑、洁净及耐腐蚀等特性，成为精密真空应用领域的理想选择，为现代制造业提供了高效可靠的真空解决方案。