产品型号:
更新时间:2026-05-08
厂商性质:代理商
访 问 量 :11
028-68749778
产品分类
| 品牌 | OSAKA/大阪真空 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 仪器种类 | 分子泵 | 产品类型 | 有油泵 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 综合 |
日本OSAKA大阪磁悬浮轴承涡轮分子泵TG427M

日本OSAKA大阪磁悬浮轴承涡轮分子泵TG427M
TG427M是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁悬浮轴承涡轮分子泵,专为半导体制造、FPD(平板显示器)制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等需要超高真空环境的领域设计。
该泵采用先进的磁悬浮轴承技术,实现了无油排气,消除了机械接触,减少了磨损和振动,延长了泵的使用寿命,同时降低了维护成本。磁悬浮轴承的应用还使得泵体可以在任意角度安装,适应各种复杂的工作环境。
TG427M具有出色的排气性能,其抽速可达一定水平(具体数值可能因型号和配置略有差异,但通常处于较高范围),能够满足大流量气体排放的需求。同时,该泵还具备高压缩比,可形成稳定的超高真空环境,极限压力低,确保了真空系统的纯净度。
在节能方面,TG427M采用了省电设计,能够在保证高抽速的同时,有效降低能耗,为企业节省运营成本。此外,该泵还支持多种通信接口,便于与各种控制系统进行集成,实现远程监控和自动化操作。
TG427M还具备数据存储功能,运行数据、触地计数、型号信息等可以存储在主机中。即使在大修期间更换控制器,也可以传输数据,方便用户进行设备管理和维护。同时,该泵符合CE、NRTL、SEMI-S2等国际安全标准,确保了产品在全球范围内的通用性和安全性。
TG427M还具备低振动、无需调整、自动校准、可控制转子旋转速度等优点,为用户提供了更加便捷、稳定的使用体验。其应用领域广泛,包括半导体制造、电子枪排气、离子源排气、FPD制造、表面处理、表面改性、制造各种电子元件、分析和测试设备、管材制造、光学元件制造、加速器、辐射设施和核聚变研究以及热处理等。
| 型号 ※1 | TG427M | |
|---|---|---|
| 吸气口 | VG150/ISO-B160/CF160 | |
| 排气口 | KF25 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 400 |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 370 | |
| H₂ (L/s) | 300 | |
| 最大压缩比 | N₂ | 1×10⁸ |
| H₂ | 4.5×10³ | |
| 极限压力 ※4 | Pa | <1×10⁻⁶ (VG・ISO-B) / <1×10⁻⁷ (CF) |
| Torr | <7.5×10⁻⁹ (VG・ISO-B) / <7.5×10⁻¹⁰ (CF) | |
| 最大气体流量 ※2 ※3 | N₂ (sccm) | 2000 |
| Ar (sccm) | 1000 | |
| 启动时间 | min | 2~2.5 |
| 停止时间 | min | 2~3 |
| 允许辅助压力 | Pa | 400 |
| Torr | 3.0 | |
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧160 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | kg | 16 (VG・ISO-B) / 19 (CF・耐腐蚀性) |
| 控制器型号 | TC0301M | |