日本OSAKA大阪磁悬浮轴承涡轮分子泵TG397M是日本OSAKA大阪真空推出的一款高性能磁悬浮轴承涡轮分子泵，专为半导体制造、FPD（平板显示器）制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等对真空环境要求严苛的领域设计，凭借无油洁净、高效稳定的特性，成为真空应用场景的核心设备之一。

日本OSAKA大阪磁悬浮轴承涡轮分子泵TG397M

日本OSAKA大阪磁悬浮轴承涡轮分子泵TG397M

TG397M是日本OSAKA大阪真空推出的一款高性能磁悬浮轴承涡轮分子泵，专为半导体制造、FPD（平板显示器）制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等对真空环境要求严苛的领域设计，凭借无油洁净、高效稳定的特性，成为真空应用场景的核心设备之一。

作为磁悬浮轴承技术的典型应用，TG397M通过电磁力实现转子的无接触悬浮，摒弃了传统机械轴承的润滑油需求，从根源上避免了油蒸汽对真空环境的污染，可构建纯净度的真空空间。其采用五轴主动磁悬浮控制系统，能稳定转子运行，支持任意角度安装，适配复杂设备布局，同时将振动与噪音降低水平，确保精密工艺不受干扰。

在核心性能上，TG397M表现出色：氮气环境下标称抽速达340L/s，加装防护网后仍保持320L/s的高效抽气能力，氢气抽速为290L/s，可快速处理大流量气体；氮气最大压缩比超1×10⁸，氢气最大压缩比达4.5×10³，极限压力低至1×10⁻⁷Pa（CF接口），能稳定维持超高真空状态。此外，泵体集成记忆功能，可存储运行数据、参数设置及异常历史，即使大修更换控制器，数据也能完整迁移，便于设备全生命周期管理。

TG397M还兼顾节能与智能化需求，采用省电设计降低长期运行成本，支持EtherCAT、RS232C等多种通信接口，可无缝接入自动化控制系统，实现远程监控与操作。产品通过CE、NRTL、SEMI-S2等国际认证，安全性与通用性符合全球工业标准，为精密制造、科研实验等场景提供可靠的真空解决方案。