日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TGkine2200M-R是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁悬浮轴承型涡轮分子泵，专为半导体制造、FPD（平板显示器）制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等需要超高真空环境的领域设计。

日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TGkine2200M-R

日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TGkine2200M-R

TGkine2200M-R是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁悬浮轴承型涡轮分子泵，专为半导体制造、FPD（平板显示器）制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等需要超高真空环境的领域设计。

该泵采用先进的磁悬浮轴承技术，实现了无油排气，消除了机械接触，减少了磨损和振动，延长了泵的使用寿命，同时降低了维护成本。磁悬浮轴承的应用还使得泵体可以在任意角度安装，适应各种复杂的工作环境。

TGkine2200M-R集成了电源控制器与分子泵的一体化设计，省去了输出电缆和控制器机架，显著减少了设备的占地面积，简化了系统结构，提高了整体可靠性。在性能方面，该泵具有出色的排气性能，其抽速可达2200 L/s（具体数值可能因型号和配置略有差异），能够满足大流量气体排放的需求。同时，该泵还具备高压缩比，可形成稳定的超高真空环境，极限压力低于5×10⁻⁷ Pa。

此外，TGkine2200M-R还具备省电设计，能够在保证高抽速的同时，有效降低能耗，为企业节省运营成本。该泵还支持多种通信接口，便于与各种控制系统进行集成，实现远程监控和自动化操作。同时，该泵符合CE、NRTL、SEMI-S2等国际安全标准，确保了产品在全球范围内的通用性和安全性。

TGkine2200M-R还具备数据存储功能，运行数据、触地计数、型号信息等可以存储在主机中，即使在大修期间更换控制器，也可以传输所有数据，方便用户进行设备管理和维护。