日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TGkine3800M-B是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款顶级超大型磁悬浮轴承型涡轮分子泵，专为半导体制造、FPD（平板显示器）制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等需要超高真空环境的领域设计。

日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TGkine3800M-B

日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TGkine3800M-B

TGkine3800M-B是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款顶级超大型磁悬浮轴承型涡轮分子泵，专为半导体制造、FPD（平板显示器）制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等需要超高真空环境的领域设计。

该泵采用先进的5轴主动磁悬浮轴承技术，实现了无油排气，消除了机械接触，减少了磨损和振动，延长了泵的使用寿命，同时降低了维护成本。磁悬浮轴承的应用还使得泵体可以在任意角度安装，适应各种复杂的工作环境。

TGkine3800M-B具有业界顶级的超大抽速，氮气标称抽速高达3800 L/s，加装防护网后有效抽速仍可达约3496 L/s，能够满足大流量气体排放的需求。同时，该泵还具备高压缩比，氮气最大压缩比超过2×10⁸，氢气最大压缩比为2×10³，可形成稳定的超高真空环境，极限压力低于5×10⁻⁷ Pa。

在节能方面，TGkine3800M-B采用了省电设计，能够在保证高抽速的同时，有效降低能耗，为企业节省运营成本。此外，该泵还具备快速启动和停止的特点，启动时间不超过12分钟，停止时间不超过14分钟，提高了生产效率。

TGkine3800M-B还集成了电源控制器与分子泵的一体化设计，省去了输出电缆和控制器机架，显著减少了设备的占地面积，简化了系统结构，提高了整体可靠性。同时，该泵还支持多种通信接口，便于与各种控制系统进行集成，实现远程监控和自动化操作。