日本KOSAKA小坂微细形状测定机 ET8000代理
可以高精度地自动测量样本尺寸2200×2600mm的大型工件。此外，还提供可以装载/卸载样本的选项。
全自动大型工作测量用。

日本KOSAKA小坂微细形状测定机 ET8000代理

日本KOSAKA小坂微细形状测定机 ET8000代理是一款专为高精度表面形貌分析设计的*设备，广泛应用于半导体、光电、精密加工及科研领域。该设备以纳米级测量精度和多功能性为核心优势，能够满足复杂表面形貌的严苛检测需求。

‌核心性能参数方面‌，ET8000展现出的精度与稳定性：

• ‌测量范围‌：Z轴最大测定范围达100μm，X轴移动量100mm，支持最大工件尺寸210mm×210mm，适应不同尺寸样品需求。

• ‌分辨率与重复性‌：Z轴分辨率0.1nm，重现性1σ 0.5nm以内，台阶重现性可达0.2nm以下，确保微小台阶的精确捕捉。

• ‌测定力与触针‌：测定力范围0.5μN至500μN，触针半径可选0.5μm、2μm，适应软质与硬质材料表面测量。

• ‌驱动与定位‌：采用直动式驱动方式，移动真直度0.005μm/5mm，线性尺分解能0.01μm，位置定位再现性±5μm，保障长距离测量的高精度。

‌功能特点上‌，ET8000具备多项创新设计：

• ‌超高直线度保证‌：确保量测图形不受移动轴影响，支持长距离量测及表面翘曲度、波纹度、内应力解析。

• ‌*检出器‌：采用超低噪音直动式LVDT传感器，减少测量误差。

• ‌高分辨率定位‌：配备高分辨率CCD，实时观测测量过程，提升操作便捷性。

• ‌中文化软件‌：支持60多种测量参数，可对应各种国际规范，满足多样化分析需求。

‌应用领域广泛‌，ET8000适用于半导体硅片表面形貌、台阶高度、薄膜厚度测量，平板显示基板平整度、段差检测，以及精密机械零部件的表面形状、尺寸精度测量等，为工艺控制与研发分析提供关键数据支持。