日本KOSAKA小坂微细形状测定机 NT1520
膜厚、段差测定等，适合于配方自动测定！
宽范围检测器・・・1300μm
X、Y方向両軸测量・・・不需要工件校直。有助于减少接触力。
直动方式检测器・・・结构实现了高精度和高再现性。

日本KOSAKA小坂微细形状测定机 NT1520

日本KOSAKA小坂微细形状测定机 NT1520是日本小坂研究所最新推出的直动式晶圆台阶测量仪，专为半导体前工序及*封装领域设计，以纳米级精度与高效率为核心优势，重新定义了台阶形貌检测的行业标准。

‌核心性能参数方面‌，NT1520采用行业的直动式检测结构，摒弃传统杠杆式探针的支点设计，使探针沿垂直方向线性位移，直接跟踪台阶高度差。这一创新使设备实现0.1nm级别的高度分辨率，精度较传统设备提升约100倍，同时将检测时间缩短至原有的一半。其支持4英寸、6英寸、8英寸晶圆测量，Z轴最大测量范围达1300μm，可覆盖薄膜沉积、刻蚀图形、配线层高度差等关键工艺的表面形貌检测需求。

‌功能特点上‌，NT1520具备三大技术突破：

1. ‌误差抑制技术‌：直动式结构消除探针弧形运动导致的角度误差，确保计测结果不受探头运动影响；

2. ‌双轴扫描系统‌：支持X/Y轴同步扫描，减少晶圆重新定位步骤，提升检测效率；

3. ‌智能软件平台‌：配备中文化分析软件，集成粗糙度解析、段差分析、内应力计算等功能，并支持低通滤波过滤噪音，数据垂直方向显示倍率最高可达200万倍。

‌应用场景‌聚焦于半导体制造领域：

• ‌前工序形貌控制‌：检测晶圆表面薄膜厚度均匀性、刻蚀图形深度精度；

• ‌*封装缺陷追踪‌：分析3D封装中微凸点高度差、TSV通孔形貌；

• ‌研发阶段材料分析‌：评估新型材料（如高介电常数介质层）的表面粗糙度对器件性能的影响。

NT1520的推出，标志着高精度台阶计测设备从“高速量测"向“高精度×高效率×基准化"阶段跃迁，为半导体制造工艺的精细化控制提供了关键工具。