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日本OSAKA大阪涡轮分子泵TGkineMI-R系列是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款反应生成物对应型磁悬浮涡轮分子泵,专为半导体、FPD(平板显示器)、MEMS制造等蚀刻设备以及易生成反应生成物并在高温下易挥发的设备设计。
日本OSAKA大阪涡轮分子泵TGkineMI-B系列是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款反应生成物对应型磁悬浮涡轮分子泵,专为半导体、FPD(平板显示器)、MEMS制造等蚀刻设备以及易生成反应生成物并在高温下易挥发的设备设计。
日本OSAKA大阪磁悬浮轴承涡轮分子泵TG1307M是日本OSAKA大阪真空推出的一款高性能磁悬浮轴承涡轮分子泵,专为半导体制造、FPD(平板显示器)制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等对真空环境要求严苛的领域设计,凭借无油洁净、高效稳定的特性,成为真空应用场景的核心设备之一。
日本OSAKA大阪磁悬浮轴承涡轮分子泵TG907M是日本OSAKA大阪真空推出的一款高性能磁悬浮轴承涡轮分子泵,专为半导体制造、FPD(平板显示器)制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等对真空环境要求严苛的领域设计,凭借无油洁净、高效稳定的特性,成为真空应用场景的核心设备之一。
日本OSAKA大阪磁悬浮轴承涡轮分子泵TG427M是日本OSAKA大阪真空推出的一款高性能磁悬浮轴承涡轮分子泵,专为半导体制造、FPD(平板显示器)制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等对真空环境要求严苛的领域设计,凭借无油洁净、高效稳定的特性,成为真空应用场景的核心设备之一。
日本OSAKA大阪磁悬浮轴承涡轮分子泵TG397M是日本OSAKA大阪真空推出的一款高性能磁悬浮轴承涡轮分子泵,专为半导体制造、FPD(平板显示器)制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等对真空环境要求严苛的领域设计,凭借无油洁净、高效稳定的特性,成为真空应用场景的核心设备之一。