日本OSAKA大阪涡轮分子泵TGkineMI-R系列是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款反应生成物对应型磁悬浮涡轮分子泵，专为半导体、FPD（平板显示器）、MEMS制造等蚀刻设备以及易生成反应生成物并在高温下易挥发的设备设计。

日本OSAKA大阪涡轮分子泵TGkineMI-R系列

日本OSAKA大阪涡轮分子泵TGkineMI-R系列

TGkineMI-R系列是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁悬浮轴承涡轮分子泵，专为半导体制造、FPD（平板显示器）制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等需要超高真空环境的领域设计，尤其适用于易生成反应生成物并在高温下易挥发的设备。

该系列泵采用先进的磁悬浮轴承技术，通过磁力使转子悬浮，实现非接触支撑结构，从而不使用润滑油，达到无油的状态。这一设计不仅消除了机械接触，减少了磨损和振动，还延长了泵的使用寿命，降低了维护成本。同时，磁悬浮轴承的应用还使得泵体可以在任意角度安装，适应各种复杂的工作环境。

TGkineMI-R系列泵针对内部容易出现反应生成物的设备，采用了独特的绝热结构和自加热机制，有效降低了反应生成物的堆积与固化，充分延长了分子泵的寿命与维护周期。此外，该系列泵还通过使用外部加热器实现升温，同时利用在泵内部产生的气体的摩擦热，来使接触气体部位高效率地升温，从而减小了外部加热器的输出功率，达到了节能的效果。

在规格方面，TGkineMI-R系列泵提供了多种型号选择，以满足不同客户的需求。这些泵具有不同的吸气口规格、排气速度和最大压缩比等参数，可根据具体应用场景进行选择。同时，该系列泵还实现了控制器和电源的一体化设计，不需要输出电缆和控制器机架，减少了设备的占地面积。

此外，TGkineMI-R系列泵还支持多种通信接口，便于与各种控制系统进行集成，实现远程监控和自动化操作。该系列泵还具备数据存储功能，运行数据、触地计数、型号信息等可以存储在主机中，即使在大修期间更换控制器，也可以传输数据，方便用户进行设备管理和维护。