日本KASUGA春日直流离子KDB静电消除棒DC型离子产生方法。

离子极性平衡，并且由于照射的离子几乎没有反向电荷。

由于离子极性平衡良好，因此不管带电物体的极性和电势如何，都可以进行有效的中和。

它具有较长的离子范围，适用于中和高速行进的带电物体。

臭氧的产生极少。

日本KASUGA春日直流离子KDB静电消除棒

日本KASUGA春日直流离子KDB静电消除棒是面向半导体高洁净制程的专用静电消除设备，由拥有多年精密静电控制技术积淀的日本KASUGA春日电机出品，依托成熟的直流DC离子生成工艺打造，适配晶圆输送、半导体封装、面板制程等对洁净度与静电管控要求较高的作业场景。

这款系列采用直流离子独立输出架构，正负离子的生成过程独立可控，离子平衡度可稳定控制在±10V以内，无论待中和工件携带何种极性的静电，都能实现稳定的静电消除效果，避免因离子失衡引发的工件表面反向带电问题。电极针搭载内置限流安全回路，大幅降低意外接触时的电击风险，同时臭氧生成量控制在极低水平，可直接在Class10000等级洁净室内长期使用，不会对周边高洁净环境造成额外影响。

它的棒体外壳采用阳极氧化铝材质打造，表面经过特殊耐酸碱处理，可耐受常规洁净室使用的酒精类、弱酸碱类清洗剂擦拭清洁，长期反复清洁也不易出现外壳腐蚀或掉屑问题。系列提供多种结构版本可选，标准型适配普通晶圆输送、载具流转场景；可换针版本支持单独拆卸更换电极针，无需拆解整根棒体，适配粉尘较多、需要高频维护的研磨、切割后段场景；防尘洁净版本搭载陶瓷绝缘密封结构，可减少粉尘在棒体表面堆积，适配晶圆前道涂布、曝光周边的高洁净区域。

KDB系列可搭配对应型号的高压电源模块使用，其中带报警输出的电源版本可实时监测离子运行状态，异常信号可直接接入产线PLC系统，实现静电消除工况的实时联动管控。设备运行功耗较低，单根棒体的运行功率可控制在10W以内，长期连续运行也不会产生过高的能耗负担。产品出厂前经过多道洁净度与静电消除性能校验，采用双层真空密封包装交付，拆封后可直接送入洁净产线安装使用，无需额外复杂预处理。

使用前建议确认配套电源与棒体型号匹配，安装时保持棒体与工件处于80-200mm的推荐作业区间；日常使用过程中定期断电清洁电极，维持静电消除性能长期稳定。