东京精密ACCRETECH三坐标测量机ZEISS XENOS作为精密测量领域的基准级参考设备，它突破了传统高精度测量机“高精度与大测量范围不可兼得"的行业瓶颈，广泛应用于科研机构计量实验室、航空航天、光学加工等对精度要求的领域，是目前全球超高精度测量领域的产品。

东京精密ACCRETECH三坐标测量机ZEISS XENOS

东京精密ACCRETECH三坐标测量机ZEISS XENOS

ZEISS XENOS是东京精密ACCRETECH与蔡司合作推出的桥式三坐标测量机，作为精密测量领域的基准级参考设备，它突破了传统高精度测量机“高精度与大测量范围不可兼得"的行业瓶颈，广泛应用于科研机构计量实验室、航空航天、光学加工等对精度要求的领域，是目前全球超高精度测量领域的产品。

ZEISS XENOS的高精度优势源于材料与结构的方位创新：设备主体核心结构件采用创新碳化硅陶瓷，相比传统氧化铝陶瓷，热膨胀系数仅为0.5倍，刚性提升30%，重量降低20%，优异的热稳定性与结构刚性从根源上减少了环境温度变化、设备运行形变带来的测量误差，是实现超高精度测量的核心基础。测量标尺采用热膨胀近乎为零的零膨胀微晶玻璃(Zerodur®)，搭配蔡司表面张力浮动安装方式，避免双金属效应影响，消除了传统标尺温度补偿带来的不确定误差。

在驱动结构上，ZEISS XENOS采用全轴直线驱动设计，更搭载蔡司虚拟中心Y轴双驱动技术，可根据X轴移动带来的重心变化，实时优化左右驱动的推力分配，配合新一代控制器与优化算法，在整个测量范围内都实现了重复定位精度，路径跟随误差低于100纳米，哪怕是复杂曲面轮廓测量，也能保持探针的稳定走位，保证测量结果的准确性。

这款测量机长度测量精度可达0.2+L/1000μm，测量范围接近1立方米，规格为900×1500×700mm，可容纳大尺寸精密工件同时保持超高精度，解决了传统小量程高精度测量机无法适配大工件需求的痛点。设备标配增强型VAST gold基准测头，针对高精度测量做了专门优化，进一步提升了测量结果的可重复性。

作为基准级测量设备，ZEISS XENOS既可以作为国家计量机构的量值传递标准，也可以用于航空航天零部件、光学镜片、精密模具的高精度检测，凭借精度与稳定性能，成为超高精度测量领域的设备，也延续了东京精密与蔡司在精密测量领域的技术口碑。