日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG220F是一款专为高真空环境设计的紧凑型设备，其核心优势在于小型化、轻量化与低成本，同时具备出色的抗冲击性能和灵活的安装适应性。

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG220F

日本OSAKA大阪滚珠轴承型涡轮分子泵TG220F

日本OSAKA大阪真空株式会社推出的TG220F滚珠轴承型涡轮分子泵，是一款集小型化、轻量化、高抗冲击性与灵活安装性于一体的真空设备，专为高真空环境设计。

TG220F采用油脂润滑滚珠轴承系统，结构紧凑，重量轻（VG/ISO-R法兰型仅5.5kg，CF法兰型8kg），显著降低了设备整体负担。其核心优势在于的抗冲击性能，可承受超过400次大气冲击，适用于安装在移动设备或运动部件上，如排气车、腔室门等，即使在泵运行时也可移动，甚至能在地震等环境下稳定重启。

在性能方面，TG220F具备高效的抽气能力，排气速度达220L/s（N₂），最大压缩比N₂为1×10⁸，H₂为4×10²，极限压力低于1×10⁻⁶ Pa，满足超高真空需求。其启动时间仅需1-1.2分钟，停止时间2.5-3.5分钟，支持快速工艺切换，提升生产效率。同时，该泵兼容多种气体排放，包括惰性气体和部分腐蚀性气体（但排放腐蚀性气体时需选用TG-M或TG系列耐腐蚀型号）。

TG220F还注重节能与环保，支持风冷与水冷两种模式，空冷环境下允许温度范围10-32℃，水冷环境下扩展至10-40℃，适应不同工作环境。此外，该泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全标准，集成RS232C串行通信接口，支持远程监控与数据传输，便于系统集成与管理。

TG220F广泛应用于半导体制造、电子枪排气、FPD制造、表面处理、分析检测设备、光学部件制造及核聚变研究等领域，其小巧尺寸与自由安装设计，使其成为实验室、生产线及移动设备的理想选择。