日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TG420M是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁悬浮轴承型涡轮分子泵，专为半导体制造、FPD（平板显示器）制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等需要超高真空环境的领域设计。

日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TG420M

日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TG420M

TG420M是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁悬浮轴承型涡轮分子泵，专为半导体制造、FPD（平板显示器）制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等需要超高真空环境的领域设计。

该泵采用先进的磁悬浮轴承技术，实现了无油排气，消除了机械接触，减少了磨损和振动，延长了泵的使用寿命，同时降低了维护成本。磁悬浮轴承的应用还使得泵体可以在任意角度安装，适应各种复杂的工作环境。

TG420M具有出色的排气性能，其抽速可达400L/s（N₂标称抽速），加装金属保护网后有效抽速仍可达370L/s，能够满足大流量气体排放的需求。同时，该泵还具备高压缩比，N₂的最大压缩比超过1×10⁸，H₂的最大压缩比为4.5×10³，可形成稳定的超高真空环境，极限压力低于1×10⁻⁶ Pa（VG・ISO-B接口）/低于1×10⁻⁷ Pa（CF接口）。

此外，TG420M还具备省电设计，能够在保证高抽速的同时，有效降低能耗，为企业节省运营成本。该泵还支持多种通信接口，便于与各种控制系统进行集成，实现远程监控和自动化操作。同时，该泵符合CE、NRTL、SEMI-S2等国际安全标准，确保了产品在全球范围内的通用性和安全性。

TG420M还具备低振动、无需调整、自动校准、可控制转子旋转速度等优点，为用户提供了更加便捷、稳定的使用体验。此外，该泵还附带维护警报机能，方便用户及时进行设备维护和保养。