产品型号：
更新时间：2026-05-07
厂商性质：代理商
访 问 量 ：12
028-68749778
产品分类
| 品牌 | OSAKA/大阪真空 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 仪器种类 | 分子泵 | 产品类型 | 有油泵 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 综合 |
日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TGkine3300M-B
日本OSAKA大阪真空涡轮分子泵TGkine3300M-B
TGkine3300M-B是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁悬浮轴承型涡轮分子泵，专为半导体制造、FPD（平板显示器）制造、太阳能电池制造以及光学元件加工等需要超高真空环境的领域设计。
该泵集成了电源控制器与分子泵的一体化设计，省去了输出电缆和控制器机架，显著减少了设备的占地面积，简化了系统结构，提高了整体可靠性。磁悬浮轴承技术的应用，实现了无油排气，消除了机械接触，减少了磨损和振动，延长了泵的使用寿命，同时降低了维护成本。
TGkine3300M-B具有出色的排气性能，其排气速度在N₂（氮气）下可达3300 L/s，在H₂（氢气）下为2700 L/s，能够满足大流量气体排放的需求。同时，该泵还具备高压缩比，N₂的最大压缩比超过1×10⁸，H₂的最大压缩比为3×10³，可形成稳定的超高真空环境。其极限压力低于2×10⁻⁷ Pa，进一步确保了真空系统的纯净度。
在节能方面，TGkine3300M-B采用了省电设计，有效降低了能耗，为企业节省了运营成本。此外，该泵还具备轻巧设计，便于搬运和安装，适应各种空间受限的工作环境。其防护等级达到IP54，能够有效抵御灰尘和水的侵入，确保在恶劣环境下的稳定运行。
TGkine3300M-B还支持多种通信接口，便于与各种控制系统进行集成，实现远程监控和自动化操作。同时，该泵符合CE、NRTL、SEMI-S2等国际安全标准，确保了产品在全球范围内的通用性和安全性。
| 型号 ※1 | TGkine3304M-B | TGkine3305M-B | |
|---|---|---|---|
| 吸气口 | ISO-B320/VG300 | ||
| 排气口 ※2 | KF40 | KF50 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 3300 | |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 3100 | ||
| H₂ (L/s) | 2700 | ||
| 最大压缩比 | N₂ | >1×10⁸ | |
| H₂ | 3×10³ | ||
| 极限压力 ※5 | Pa | <2×10⁻⁷ | |
| Torr | <1.5×10⁻⁹ | ||
| 最大气体流量 ※3 ※4 | N₂ (sccm) | 2100 | 2100 |
| Ar (sccm) | 1600 | 1600 | |
| 启动时间 | min | ≦11 | ≦11 |
| 停止时间 | min | ≦13 | ≦13 |
| 允许辅助压力 ※6 | Pa | 170 | |
| Torr | 1.28 | ||
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧2000 | |
| 安装角度 | 任意 | ||
| 重量 | kg | 70/69 | |
| 输入电压 | AC200-240V | AC200-240V | |
| 相数 | 单相 | ||
| 输入频率 | Hz | 50/60 | |
| 所需电源 | VA | Max. 1000 | |
| 电流 | A | Max. 5.9 | |
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